Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка количественных методов трехмерной реконструкции нанорельефа и рентгеноспектрального микроанализа наноматериалов и нанообъектов, включая метрологическое обеспечение

Докладчик: Митюхляев Виталий Борисович

Должность: ведущий научный сотрудник, к.ф.-м.н

Цель проекта:
Проект направлен на решение проблемы трехмерной реконструкции нанорельефа по стереоизображениям, полученным в РЭМ. Цель проекта – совершенствование метода 3D-реконструкции профиля поверхности по РЭМ-стереоизображениям, создание эталонных образцов для калибровки РЭМ в режиме получения стереоизображений.

Основные планируемые результаты проекта:
1. Эталонные образцы для калибровки РЭМ, работающего в режиме получения стереоизображений; основное назначение указанных эталонных образцов – калибровка гониометра РЭМ по углу наклона.
Разработка технологии изготовления эталонных образцов.
2. Разработка методики 3D-реконструкции профиля поверхности по РЭМ-стереоизображениям в нанодиапазоне на основе оптимизации параметров эксперимента.
Ожидается, что планируемые к разработке методики будут мирового уровня или выше, также предполагается к патентованию способ 3D-реконструкции профиля поверхности по РЭМ-стереоизображениям в нанодиапазоне

Назначение и область применения, эффекты от внедрения результатов проекта:
Планируемые к получению научно-технические результаты должны найти применение в материаловедении, микроэлектронике, нанотехнологиях и т.д., где широко применяется растровая электронная микроскопия и возможности которой, как ожидается, будут расширены.
С точки зрения практического внедрения планируемых результатов, предполагается, что впервые в мировой практике будут разработаны и внедрены в производство эталонные образцы для калибровки РЭМ, работающего в режиме получения стереоизображений.
Предполагается, что полученные результаты будут доложены и обсуждаться на международных конференциях

Текущие результаты проекта:
1. Разработана технология и изготовлены макеты эталонных образцов
2. Получены предварительные результаты по 3D-реконструкции профиля поверхности трапецеидальных рельефных структур на основе анализа стереоизображений, полученных в РЭМ. На основе оптимизации параметров эксперимента удалось уменьшить погрешность определения геометрических параметров профиля.