Регистрация / Вход
Прислать материал

14.576.21.0063

Аннотация скачать
Постер скачать
Общие сведения
Номер
14.576.21.0063
Тематическое направление
Информационно-телекоммуникационные системы
Исполнитель проекта
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
Название доклада
Исследование конструктивно-технологических решений для разработки элементной компонентной базы высокотемпературной микроэлектроники на структурах кремний на изоляторе.
Докладчик
Игнатов Павел Викторович
Тезисы доклада
Цели и задачи исследования
Целью ПНИ № 14.576.21.0063 «Исследование конструктивно-технологических решений для разработки элементной компонентной базы высокотемпературной микроэлектроники на структурах кремний на изоляторе» является исследование и разработка комплекса конструктивно-технологических решений, направленных на создание технологий и конструкций изделий высокотемпературной микроэлектроники с рабочим диапазоном температур от минус 60 до плюс 225ºС на структурах кремний на изоляторе (КНИ) с проектными нормами 0,5 мкм.
Актуальность и новизна исследования
Целью ПНИ № 14.576.21.0063 «Исследование конструктивно-технологических решений для разработки элементной компонентной базы высокотемпературной микроэлектроники на структурах кремний на изоляторе» является исследование и разработка комплекса конструктивно-технологических решений, направленных на создание технологий и конструкций изделий высокотемпературной микроэлектроники с рабочим диапазоном температур от минус 60 до плюс 225ºС на структурах кремний на изоляторе (КНИ) с проектными нормами 0,5 мкм.
Описание исследования

1.Проведено приборно-техническое моделирование физической структуры элементной базы и проведен расчет электрофизических параметров элементной базы .

2.Определена чувствительность порогового напряжения элементной базы в зависимости от температуры .

3.Разработаны топология тестовых структур элементной базы и сложно-функционального блока кольцевого генератора .

4.Изготовлены макетные образцы тестового кристалла включающего  тестовые структуры элементной базы и сложно-функционального блока кольцевого генератора .

5.Проведены исследовательские испытания тестовых структуры элементной базы и сложно-функционального блока кольцевого генератора в соответствии с программой исследовательских испытаний в части определения времени задержки инвертора  кольцевого генератора и определение чувствительности порогового напряжения элементной базы в зависимости от температуры 

Результаты исследования

1.Чувствительность порогового напряжения элементной базы составляет 1.5-1.7 мВ на градус Цельсия.

2.Время задержки инвертора кольцевого генератора составляет менее 100 пс во всем диапазоне температур.

3.Показано, что для реализации элементной базы высокотемпературной электроники необходимо реализовать повышенные пороговые напряжения элементной базы более 1.0 В.

4.Сравнить полученные данные исследований с результатами аналогичных работ  не представляется возможным так,  как   данные сведения не были опубликованы , по всей видимости эти сведения имеют статус know-how.

Практическая значимость исследования
Достигнутые в ходе ПНИ научно-технические результаты, а также приобретённый опыт разработки технологий создания высокотемпературных интегральных схем на основе КНИ позволяют судить об успешности данного исследования и перспективах по инициации опытно-конструкторской работы по разработке базового технологического процесса изготовления СБИС предназначенных для работы в условиях экстремальных температур.