Исследование влияния остаточного давления и температуры на параметры пьезоэлектрических резонаторов

Широкая востребованность пьезоэлектрических (в т.ч. кварцевых) резонаторов в различных видах радиоэлектронной аппаратуры, приборов и устройств космического, военного и гражданского назначения задает жесткие требования к конечным параметрам изделий. Большая часть этих параметров задается на всех стадиях производства: от подготовки кварцевого элемента, до герметизации корпуса резонатора. Наибольшее влияние на конечные характеристики изделия оказывают именно последние этапы производства, а также стабилизация этих параметров путем искусственного состаривания в условиях высоких температур. Данный процесс называется технологической термотренировкой и является одной из операций проверки качества изделий.

Проводимые в данной работе исследования направлены на изучение влияния остаточного давления на этапе герметизации корпуса, а также температуры на окончательные технические характеристики кварцевых резонаторов с целью оптимизации процесса и повышения качества выходных изделий.

Работа выполнена с помощью производственных мощностей ОАО "Пьезо". Благодаря специализированному оборудованию был получен целый спектр характеристик тестовой партии резонаторов, важнейшими из которых являются частота и динамическое сопротивление. Полученные зависимости (рис. 1) являются не линейными, но предсказуемыми, что позволяет определить наиболее оптимальные параметры технологического процесса.

Рисунок 1 - Зависимость частоты (1) и динамического сопротивления (2) резонатора от величины остаточного давления.