Разработка модели виртуальной установки ионной имплантации HVE-350

Целью данной работы является создание тренинговой системы установки ионной имплантации HVE-350. С помощью программы студенты и сотрудники смогут производить эксперименты без материальных затрат и вероятности поломки оборудования.

Ионная имплантация является ключевым этапом в разработке интегральных схем и других полупроводниковых приборов. Этот процесс осуществляется на ионных ускорителях или имплантерах.

Установка HVE-350 – это линейный ускоритель фирмы “High Voltage Engineering Europa B.V.” (Голландия) для имплантации тяжелых ионов с энегиями до 350 кэВ. Разработка модели установки и  её элементов произведена с помощью программы Borland Delphi 7.

Компьютерная тренинговая система требуется для обучения студентов и специалистов с целью повышения их квалификации, наглядного представления экспериментальной установки и закрепления теоретического материала. Необходимость создания таких виртуальных программ обусловлена тем, что современное высшее образование предполагает подготовку специалистов-практиков, имеющих навыки работы с оборудованием. Внедрение разрабатываемой компьютерной системы позволит обеспечить:

• использование инновационных методов в обучении;
• мобильность (возможность проведения эксперимента, как в лаборатории, так и в любом другом удобном месте);
• улучшить понимание проходимого материала;
• приобретение практических навыков работы на сложном технологическом оборудовании.

Научный руководитель – к.ф.-м.н., доцент, Юрчук Сергей Юрьевич