Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка конструкции макета и методика определения коэффициента вторичной электронной эмиссии.

ФИО
Максимов Максим Олегович
Электронная почта
c3364swim345@mail.ru
Номинация
Нанотехнологии
Институт
Новых материалов и нанотехнологий (ИНМиН)
Кафедра
Технологии материалов электроники
ФИО научного руководителя
к.т.н., доц. Курочка С.П. , доц. Сергиенко А.А.
Академическая группа
МКТ-12-1
Наименование тезиса
Разработка конструкции макета и методика определения коэффициента вторичной электронной эмиссии.
Тезис

Вторичная электронная эмиссия (ВЭЭ) - это выход электронов с поверхности твердого тела (металла, полупроводника или диэлектрика) при облучении его поверхности электронным потоком. Количественной характеристикой явления вторичной электронной эмиссии служит коэффициент вторичной электронной эмиссии δ. Этот коэффициент численно равен отношению числа всех вторичных электронов к числу первичных электронов.

Вторичная электронная эмиссия используется для усиления электронных потоков в различных электровакуумных приборах: (вторично-электронных, фотоэлектронных умножителях и др.). Вторичная электронная эмиссия играет важную роль в образовании и развитии ВЧ и вторично-эмиссионного разряда (в электровакуумных приборах СВЧ). Кроме того, явление вторичной электронной эмиссии используется в электронной литографии, оказываясь основным фактором засвечивания резиста.

Приборы, с помощью которых более или менее решается задача исследования вторичной электронной эмиссии, являются весьма сложными и дорогими научно-исследовательскими установками.

В нашей работе была разработана конструкция макета и методика определения коэффициента вторичной электронной эмиссии.

Установка выполнена на основе электроннолучевой трубки 13ЛН2.Мишенью является металлическая пластина, на которую устанавливается образец исследуемого материала. Перед мишенью имеется коллекторная металлическая пластина, служащая для отбора вторичных электронов с мишени. Коллекторная пластина имеет диафрагму для попадания электронов на мишень, а со стороны, противоположной мишени, на нее нанесен люминофор для определения местоположения электронного пучка.

В трубке имеется электронный прожектор, который создает сфокусированный пучок электронов, разворачиваемый по мишени с помощью отклоняющей системы.
Принципиальная схема установки приведена на рисунке 1.

1 - электронно-оптическая система; 2 - отклоняющие пластины; 3 - катод; 4 - модулятор; 5 - мишень; 6 - коллектор.