Регистрация / Вход
Прислать материал

Измерение объемного времени жизни в монокристаллическом кремнии по спаду фотопроводимости на непассированных образцах

ФИО
Джайдаринова Назым Даулетханкызы
Электронная почта
4763a1b80fnazyma92@gmail.com
Номинация
Нанотехнологии
Институт
Новых материалов и нанотехнологий (ИНМиН)
Кафедра
Полупроводниковой электроники и физики полупроводников
ФИО научного руководителя
к.ф.-м.н., доцент кафедры ФПП и ППЭ Кобелева С.П.
Академическая группа
МПЭ-14-1
Наименование тезиса
Измерение объемного времени жизни в монокристаллическом кремнии по спаду фотопроводимости на непассированных образцах
Тезис

Время жизни неравновесных носителей заряда является важнейшим параметром монокристаллического кремния (МК), характеризующим частоту материала. Особенно этот параметр важен для МК выращенным методом бестигельной зонной плавки (БЗП).

Измерения ВЖ бесконтактным СВЧ методом обладает рядом достоинств: быстрота, возможность измерения, как на слитках, так и на пластинах, отсутствия верхнего предела измерения ВЖ. Одной из проблем этого метода является зависимость СВЧ сигнала от конструкции электронной схемы, что требует обязательного проведения калибровок прибора, т.е. проведения измерения на образцах ВЖ в которых известно (измерено другим методом).

В работе сравнивали результаты измерения ВЖ СВЧ методом (АПК-ТАУМЕТР), ВЧ методом (СОП Гиредмет), и методом Шпицера (СОП Гиредмет). На измерения ВЖ двумя методами, СВЧ и ВЧ, влияет поверхностная рекомбинация, поэтому в них измеряется эффективное время жизни.

Результаты измерения двумя методами показали, что СВЧ и ВЧ данные совпадают вплоть до эффективных ВЖ 1500 мкс.

Целью данной работы было сравнение результатов СВЧ методов с измерениями методов Шпицера, на которые поверхностная рекомбинация не влияет.

Для измерения использовали пластины МК разной толщины (15,03±0,45 мм). Для монокристаллического кремния в диапазоне от 0,1 до 500 Ом·см в соответствии с ГОСТ τ в слитках измеряли методом модуляции проводимости в точечном контакте (метод Шпицера).

 

Рисунок 1 – Сравнение времен жизни методом Шпицера и СВЧ методом.

Результаты СВЧ метода и  метода  Шпицера удовлетворительно коррелируют. Эффективное время жизни на образцах с толщиной 15 мм совпадает с объемным временем жизни порядка 500 мкс, что подтверждается с теоретическими расчетами.

Работа выполнена под руководством к.ф.-м.н.,  доцента кафедры ФПП и ППЭ Кобелевой С.П.