Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка виртуальной панели управления установкой ионной имплантации HVE-350

ФИО
Гуляева Диана Афанасьевна
Электронная почта
dc7179d9663talbaana95@mail.ru
Номинация
Нанотехнологии
Институт
Новых материалов и нанотехнологий (ИНМиН)
Кафедра
Полупроводниковой электроники и физики полупроводников
ФИО научного руководителя
Юрчук Сергей Юрьевич, к.ф.-м.н., доцент
Академическая группа
ППЭ-12-1
Наименование тезиса
Разработка виртуальной панели управления установкой ионной имплантации HVE-350
Тезис

В настоящее время ионная имплантация – один из ключевых этапов в технологии создания интегральных микросхем и многих других полупроводниковых устройств и приборов, позволяющий осуществлять контролируемое легирование материалов с заданными профилями в широком интервале концентраций.

Современное развитие науки и технологии в области наноэлектроники требует подготовки высококвалифицированных специалистов, способных осуществлять управление сложным и дорогостоящим оборудованием. В тоже время ошибки при обучении на реальных технологических и исследовательских установках могут привести к чрезвычайным последствиям, а их устранение – к большим финансовым затратам. К тому же, процесс подготовки и постоянное повышение квалификации специалистов становятся все дороже и дороже.

Имплантер HVE -350, разработанный фирмой High Voltage Engineering, позволяет ступенчато ускорять ионы до энергии 350 кэВ. Управление работой ускорителя осуществляется с пульта управления, оснащенного необходимыми контролирующими приборами (датчиками, осциллографами).

В данной работе была разработана виртуальная панель управления установкой ионной имплантации HVE-350, позволяющая моделировать работу оператора на ускорителе. Таким образом, обучение и контроль его результатов осуществляется на виртуальном оборудовании ионной имплантации. С помощью смоделированной панели управления можно будет обучать новых сотрудников, стажеров или студентов перед допуском к работе с реальным имплантером.