Разработка автоматизированной установки измерения релаксационной спектроскопии глубоких уровней

Глубокие уровни (ГУ) в полупроводниках определяют такую важную характеристику как время жизни подвижных носителей заряда и влияют на параметры изготавливаемых приборов. Поэтому определение концентрации и параметров глубоких уровней является важнейшей задачей для оптимизации конструкции и режимов изготовления полупроводниковых приборов.

Метод релаксационной спектроскопии глубоких уровней (РСГУ) основан на измерении релаксации барьерной емкости и позволяет определять параметры ГУ в приборных структурах. Усовершенствование методики и повышение точности измерений требует автоматизации процесса. Автоматизация проводится с помощью микропроцессорного модуля MCX52.2-1, позволяющего преобразовывать аналоговый РСГУ сигнал в цифровой для передачи в память компьютера для последующей его обработки и расчета параметров глубоких центров.

Программное обеспечение автоматизированного измерителя написано с использованием объектно ориентированных методов пакета программ Borland Delphi 7.0. Программа организована таким образом, что за один цикл нагрева образца при каждой фиксированной температуре производится серия измерений в различных режимах, задаваемых перед началом работы. Анализ массива временных зависимостей, сохраняемых на жестком диске компьютера, позволяет получить семейство зависимостей РСГУ сигнала от температуры путем варьирования времен выборки с точностью 0,005 с в диопазоне (0÷20) c.