Регистрация / Вход
Прислать материал

Полуфеноменологические теории вторичной электронной эмиссии

Фамилия
Мефодьев
Имя
Александр
Отчество
Олегович
Номинация
Нанотехнологии
Институт
Новых материалов и нанотехнологий (ИНМиН)
Кафедра
Технологии материалов электроники
Академическая группа
МНТМ-16-1-1
Научный руководитель
к.т.н., доц. Курочка С.П.
Название тезиса
Полуфеноменологические теории вторичной электронной эмиссии
Тезис

Вторичной электронной эмиссией называется испусканием телом электронов при облучении его поверхности первичными электронами. Явление вторичной электронной эмиссии характеризуется коэффициентом \(\delta\), равным отношению числа вторичных электронов, испускаемых за некоторое время телом, к числу упавших на тело за то же время первичных электронов. 

Для коэффициента вторичной электронной эмиссии есть формула:

\(\delta=\int_0^LW(x)n(x)dx\)

Основная трудность, состоит в невозможности теоретического вычисления функции плотности возбуждения \(n(x)\) из-за сложного характера движения первичных электронов. 

Современные полуфеноменологические теории, в основу которых положена более сложная картина движения первичных электронов с учетом их рассеяния. При выборе схематизированной картины явления целесообразно рассмотреть два крайних случая: а) случай, когда рассеяние первичных электронов происходит в пределах слоя, из которого выходят истинно-вторичные электроны; б) случай, когда рассеяние первичных электронов происходит за пределами этого слоя.

Первичные электроны, движущиеся в глубь эмиттера, во-первых, замедляются и, во-вторых, рассеиваются. Второй случай, при достаточно больших энергиях первичных электронов можно считать, что через слой, эмитирующий медленные вторичные электроны, проходит два потока быстрых электронов: 1) монокинетический, направленный в глубь эмиттера поток падающих первичных электронов; 2) поток отраженных первичных с первичным энергетическим спектром, движущийся к поверхности мишени.

Рисунок 1 ­­­– Эмиссия вторичных электронов

Формулу для коэффициента истинной вторичной электронной эмиссии можно записать

\(\delta=\delta_1+\delta_2 \eta\)

где \(\delta_1\)-количество истинно-вторичных электронов, созданных одним первичным при его движение в глубь тела, а \(\delta_2\)- количество истинно – вторичных, создаваемых в среднем одним отраженным при его движении к поверхности.

Можно теоретический оценить отношение \(\delta_2/\delta_1\). Эта оценка должна зависеть от принятых в расчетах предположений относительно углового и энергетического распределений отраженных электронов и от закона потерь энергии быстрыми электронами. Численное значение отношение \(\delta_2/\delta_1\) может варьироваться от 3,14 до 4, в зависимости от распределения внутренних вторичных электронов.