Регистрация / Вход
Прислать материал

Ионно-плазменное получение углеродных пленок

Фамилия
Захарычев
Имя
Александр
Отчество
Дмитриевич
Номинация
Нанотехнологии
Институт
Новых материалов и нанотехнологий (ИНМиН)
Кафедра
Технологии материалов электроники
Академическая группа
МЭН-16-3-3
Научный руководитель
доц. Сергиенко А.А.
Название тезиса
Ионно-плазменное получение углеродных пленок
Тезис

Для развития электроники на основе нанотехнологии находят применение новые материалы, такие как пиролитические графитовые пленки(PGS), раскрывающие широкие возможности различных применений благодаря своим выгодным физическим свойствам.

Целью работы является получение углеродных пленок методом магнетронного распыления мишени.

         Методом ионно-плазменного напыления, получены углеродные пленки. Рассмотрен фазовый состав, внутреннее строение, морфология поверхности, измерена толщина слоя полученных пленок.

Предложен способ выращивания пленок углерода различных структурных модификаций на вакуумной установке. Получены углеродные пленки с высоким коэффициентом отражения, устойчивостью к истиранию, механической прочностью и стабильностью свойств получены простым и экономически эффективным методом. Получены пленки толщиной 3-3,8 мкм на кремниевых подложках. Рассмотрен фазовый состав, внутреннее строение, морфология поверхности полученных пленок.

Обнаружены выгодные свойства данных пленок, обеспечивающие определенные решения проблемы теплоотвода в современной электронике.