Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка программно управляемого комплекса для измерения удельного электросопротивления четырёхзондовым методом

Фамилия
Егоров
Имя
Денис
Отчество
Сергеевич
Номинация
Нанотехнологии
Институт
Новых материалов и нанотехнологий (ИНМиН)
Кафедра
Полупроводниковой электроники и физики полупроводников
Академическая группа
ППЭ-13-2
Научный руководитель
к.ф.-м.н., доцент кафедры ФПП и ППЭ Кобелева С.П.
Название тезиса
Разработка программно управляемого комплекса для измерения удельного электросопротивления четырёхзондовым методом
Тезис

            Четырёхзондовый метод измерения удельного электросопротивления (УЭС) является самым распространённым. Он очень удобен тем, что нет необходимости создания омических контактов, возможно измерение удельного сопротивления как слитков, так и пластин полупроводников, а также поверхностного сопротивления слоёв полупроводниковых структур. С точки зрения формы, образец ограничивается наличием ровной поверхности, линейные размеры которой превосходят линейные размеры системы зондов. Данный метод считается одним из наиболее исследованных и отработанных, поэтому достаточно хорошо изучены причины возникновения неточностей и погрешностей при его применении, а также известны методы их устранения и учёта.

            В ходе работы был разработан прибор для измерения УЭС четырёхзондовым методом. Управление работой устройства и обработка информации  производится с помощью программируемого модуля АЦП ADC 4-1, произведенный фирмой ООО Fractal. Интерфейсный модуль RS232, построенный на базе микроконтроллера PIC18F2520, предназначен для вывода результатов измерения на ПК для анализа и последующей обработки. Микроконтроллер позволяет выбирать рекомендованные стандартные диапазоны токов для определения УЭС соответствующей величины.

            Для определения погрешности измерения проведено измерение комплектов государственных стандартных образцов в интервале 0,009 Ом·см — 2000 Ом·см.

            Определенная относительная погрешность прибора различается в зависимости от интервала, в котором делаются замеры удельного электросопротивления. Она составляет: ± 5% в диапазоне от 10-3 до 0,1 Ом·см; ± 2% в диапазоне от 0,1 до 1000 Ом·см; ± 5% в диапазоне свыше 1000 Ом·см.