Регистрация / Вход
Прислать материал

НИР технологии формирования температурно-стойких меток совмещения

Заказы
Опубликовано 06 декабря 2017
Р 2,5 млн
Конкурс завершен

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский государственный университет» объявляет запрос котировок на выполнение НИР по теме: «Исследование технологии формирования температурно-стойких меток совмещения для электронно-лучевой литографии».

Начальная (максимальная) цена контракта составляет ₽2,5 млн.

Цели выполнения НИР — исследование технологии формирования температурно-стойких меток совмещения для электронно-лучевой литографии, выбор технологии для формирования меток.

Должны быть получены следующие результаты исследований:

  • аналитический обзор литературы по формированию температурно-стойких меток совмещения для электронно-лучевой литографии;
  • обоснование выбора методов для формирования температурно-стойких меток совмещения для электронно-лучевой литографии;
  • данные, полученные методами электронной микроскопии о температурной стабильности материалов, пригодных для использования в качестве масок для электронно-лучевой литографии;
  • режимы формирования и толщин материалов для меток совмещения;
  • данные о точности совмещения выбранных материалов, пригодных для использования в качестве меток для электронной литографии;
  • данные о точности совмещения при использовании меток, сформированных методом плазменного травления.

Подробные требования к проведению работ изложены в приложенной документации.

Для кого

К участию приглашаются юридические лица, не являющиеся офшорными компаниями, и физические лица, в том числе зарегистрированные в качестве индивидуального предпринимателя, не находящиеся в состоянии проведения ликвидации, банкротства, приостановления деятельности, не имеющие недоимок по налогам и сборам, задолженностей по иным обязательным бюджетным платежам за прошедший календарный год, превышающих 25% балансовой стоимости активов.

Не могут участвовать субъекты, состоящие в реестре недобросовестных поставщиков (подрядчиков, исполнителей) и имеющие непогашенную судимость за преступления в сфере экономики или конфликт интересов с заказчиком.

Заказчик устанавливает приоритет товаров российского происхождения и работ, выполняемых российскими лицами, по отношению к иностранным товарам и услугам.

Что надо сделать

Для участия в конкурсе нужно подать заявку  в письменной форме в запечатанном конверте, не позволяющем просматривать содержание до вскрытия, по адресу: 634050, г. Томск, пр. Ленина, 36, главный корпус, ком. №  313.

Форма котировочной заявки содержится в приложенной документации.

Обеспечение заявки не требуется.

Сроки

Заявки принимаются до 10:00 по МСК+4 12 декабря 2017 года.

Дата рассмотрения и оценки заявок — 13 декабря 2017 года.

Срок завершения работ — 28 декабря 2017 года.

Контакты

Вопросы можно задать по email: 33ad811alawyers@mail.tsu.ru и по тел.: +7 (3822) 527398, Кузьмин Сергей Викторович.

Материал подготовлен на основе сообщения на странице закупки.

Система Orphus Если Вы заметили ошибку, выделите её и нажмите Ctrl + Enter.