Создание элемента инфраструктуры Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии по направлению наноэлектроника

Области применения, в которых могут быть использованы полученные результаты и созданная на их основе инновационная продукция, связаны в первую очередь с разработкой парка средств измерений, обеспечивающих технологический контроль процессов создания наноструктур для формирования новых свойств материалов и изделий.
3.2 Разработка предлагаемой нормативно-технической документации обеспечит целенаправленное формирование инфраструктуры центра и, тем самым, повысит эффективность проведения исследований и испытаний наноэлектронных систем и наноматериалов научными организациями и промышленными предприятиями отрасли.

Комплекс нормативно-методических и организационно-правовых документов является основой cоздание элемента инфраструктуры Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии по направлению наноэлектроника
Представленные материалы в полной мере удовлетворяют требованиям задания второго этапа.

Разработан комплекс нормативно-методических и организационно-правовых документов элемента инфраструктуры Центра, формирующегося на базе ЦКП «Синхротрон» и ЦКП «Электронстандарт», по направлению наноэлектроника;
Разработаны технические условия, методики поверки, калибровки и испытаний средства измерений наноэлектроники: «Интегральный радиометр энергетической освещенности УФ излучения»;
Проведены работы по согласованию и аттестации методик выполнения измерений
Проведена работа по подготовке к аккредитации испытательной и измерительной лаборатории, проведена апробации опытного функционирования элемента инфраструктуры Центра;
Проведены исследования и испытания продукции наноэлектроники: кантелеверы и программируемых логических ИС – ПЛИС;
Проведены измерения элементного состава покрытий выводов изделий материалов и исследование процесса старения магнитного покрытия игл кателеверов, используемых в магнитной силовой зондовой микроскопии.

Проведены работы по созданию и отладке механизма координации работ по развитию метрологического обеспечения, стандартизации и оценки соответствия с учетом безопасности применения новых нанотехнологий и наноматериалов, в том числе в целях экспортного контроля.
- Проведена аккредитация элемента инфраструктуры Центра для проведения работ по оценке соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии, поверки и калибровки средств измерений.
- Проведены мероприятия по международному признанию результатов измерений и калибровок средств измерений в сфере нанотехнологий.
- Закуплены расходные материалы, комплектующие и измерительные приборы.
- Проведены испытания продукции наноэлектроники с целью подтверждения соответствия.
- Проведены измерения элементного состава и геометрических параметров структур и материалов продукции наноэлектроники.