Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка и освоение производства приборов и оборудования для нанотехнологий.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.190.11.004
Организация
ЗАО "НТ-МДТ"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 21 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Внебюджетные средства
40 млн

Информация отсутствует

Этапы проекта

8
01.03.2005 - 10.06.2005
9
11.06.2005 - 10.09.2005
10
11.09.2005 - 30.12.2005
Разработана техническая документация на опытные образцы НТК НАНОФАБ для предварительных испытаний. Разработаны программы и методики проведения предварительных испытаний. Изготовлен опытный образец НТК НАНОФАБ для предварительных испытаний.
Проведены предварительные испытания НТК НАНОФАБ, по результатам ПИ откорректирована КД на НТК НАНОФАБ и ей присвоена ЛИТЕРА «О».
Изготовлены и испытаны узлы НТК НАНОФАБ.
Продолжены ресурсные испытания НТК НАНОТЕСТ, НАНОСПЕКТР, HV-Litho.
Разработаны интерфейсы обращения к БД. Проведены предварительные испытания методов поиска, обработки и представления СМЗ данных для НТК.
Разработаны программы и методики проведения Государственных приемочных испытаний. Изготовлен опытный образец НТК НАНОФАБ для Государственных приемочных испытаний.
Проведены Государственные приемочные испытания НТК НАНОФАБ.
Ведется серийное изготовление разработанных в рамках проекта 8 типов приборов. Объем реализованной продукции в 2005 году составил 560 миллионов рублей.
Развернуть
11
01.01.2006 - 08.12.2006
Аннотационный отчет

1. Характеристика созданной научной (научно-технической, инновационной) продукции
В результате выполнения ОКР разработано и запущено в серийное производство 9 типов нанотехнологических комплексов (НТК).
Запущены в производство следующие НТК:
  1). НТК для исследования поверхностей и модификации поверхностных наноструктур в жидких и газовых средах (СОЛВЕР-UNI) – 4 модификации, новый универсальный сканирующий мультимодовый многозондовый микроскоп.
  2). НТК для исследования и модификации наноструктур в разреженных газовых средах контролируемого состава (СОЛВЕР- UNI-HVG) - новый универсальный сканирующий мультимодовый многозондовый микроскоп для работы в условиях глубокого вакуума или контролируемой окружающей среды.
  3). НТК, объединяющий методы сканирующей зондовой микроскопии и лазерной спектроскопии (НАНОСПЕКТР) – универсальный комплекс для получения информации об объемных или приповерхностных свойствах вещества, измерения химического и фазового состава, профильного анализа и времени жизни быстрых процессов
  4). Базовый НТК для оптимизации методов синтеза полимеров и биологических объектов (НАНОТЕСТ, Nanofinder ) - универсальный комплекс для исследования физико-химических свойств как неорганических, так и органических веществ и биологических объектов на молекулярном уровне с помощью зондовой микроскопии и оптической спектроскопии.
  5). Базовый НТК производственно-аналитического назначения модульного типа НАНОФАБ - новый универсальный мультимодовый НТК для работы в условиях глубокого вакуума .
6). Информационно-вычислительная среда для нанотехнологии - включает в себя две составляющие:
1. Программное обеспечение рабочих НТК и Интернет ресурсов.
2. Программное обеспечение жизненного цикла выпускаемых НТК.
7). Упрощенный сканирующий зондовый микроскоп и курс подготовки специалистов для внедрения в систему образования (НаноЭдьюкатор)
Все разработанные НТК по параметрам превосходят зарубежные аналоги, что подтверждается продажами приборов более чем в 30 странах, причем происходит постоянная модернизация приборов для сохранения их конкурентоспособности.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

3.3 Научно-организационное сопровождение важнейших объектно-ориентированных инновационных проектов государственного значения
Тема
Разработка и освоение производства приборов и оборудования для нанотехнологий
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка и создание экспериментального образца нового поколения системы активной защиты от вибраций измерительных приборов и технологического оборудования для нанотехнологий.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка базовых технологических процессов и оборудования для исследований и опытного производства приборов наноэлектроники, оптоэлектроники и микросистемной техники.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
230 млн
Количество заявок
1
Тема
Анализ, информационно-аналитическое и методическое обеспечение инновационного проекта государственного значения "Разработка и освоение производства приборов и оборудования для нанотехнологий". Прогнозная оценка технико-экономических показателей проекта на всех стадиях его реализации.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Количество заявок
1
Тема
«Разработка технологии производства гетероэпитаксиальных структур на основе карбида кремния и родственных широкозонных полупроводниковых материалов на нанопористых подложках кремния для приборов электроники, микро- и наносистемной техники».
Продолжительность работ
2011 - 2013, 31 мес.
Бюджетные средства
240 млн
Количество заявок
1