Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка высокоскоростного выращивания поли- и монокристаллических алмазных пленок и пластин (CVD-технология).

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.434.11.2014
Организация
ИПФ РАН
Продолжительность работ
2005, 6 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Внебюджетные средства
0 млн

разработка высокоскоростного (не менее 15 микрон в час) выращивания поли- и монокристаллических алмазных пленок и пластин большой площади (более 100 см 2) за счет использования нетермических методов стимуляции процесса кристаллизации.

Этапы проекта

1
01.06.2005 - 31.08.2005
Повышение стабильности источников питания гиротрона с целью обеспечения долговременной непрерывной работы. Модернизация охлаждающих систем для модового преобразователя и волноводного тракта.Модернизация системы охлаждаемых квазиоптических зеркал, обеспечивающих стабильное поддержание микроволнового разряда с повышенной плотностью электронов на частоте 30 ГГц вблизи подложки площадью 100 см2.Расчет параметров плазмы и потоков радикалов на подложку в СВЧ разряде в двух встречных волновых пучках, направляемых на подложку под большими углами. Экспериментальное исследование влияния состава и давления газовой смеси, температуры подложки на процесс осаждения алмазных пленок на подложку диаметром 60-75 мм при мощности гиротрона 6-10 кВт.
Развернуть
2
01.09.2005 - 31.10.2005
Исследование структуры и качества получаемых алмазных пленок с помощью рамановской, электронной эмиссионной и атомной силовой спектроскопии. Проведение цикла экспериментов по осаждению алмазных пленок на подложку диаметром 60-75 мм в газовых смесях, содержащих кислород и углекислый газ с целью повышения качества алмазных пленок. Изготовление и испытания автоматической системы управления, контроля и сбора данных CVD реактора, обеспечивающей длительное поддержание требуемых условий синтеза алмазных пленок в реакторе. Получение экспериментальных образцов алмазных пластин диаметром 60-75 мм и толщиной 0,1-0,5 мм.
Развернуть
3
01.11.2005 - 09.12.2005
Исследование структуры и качества получаемых алмазных пленок с помощью рамановской, электронной эмиссионной и атомной силовой спектроскопии. Проведение цикла эксперименотв по осаждению алмазных пленок на подложку диаметром 60-75 мм в газовых смесях, содержащих кислород и углекислый газ с целью повышения качества алмазных пленок. Изготовление и испытания автоматической системы управления, контроля и сбора данных CVD реактора, обеспечивающей длительное поддержание требуемых условий синтеза алмазных пленок в реакторе.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.2 Проблемно-ориентированные поисковые исследования фундаментального характера
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
135 млн
Организация
ИПФ РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2012 - 2013, 13 мес.
Бюджетные средства
1,76 млн
Организация
ФГБНУ ТИСНУМ
профинансировано
Тема
Разработка высокоскоростного выращивания поли- и монокристаллических алмазных пленок и пластин (CVD-технология)
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка технологий плазмохимического синтеза нано- и поликристаллических алмазных пленок и пластин большой площади.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
135 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка методов получения монокристаллических алмазных пластин высокой химической чистоты и высокого кристаллического совершенства для рентгеновских монохроматоров и высокотемпературной электроники.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 20 мес.
Бюджетные средства
18,2 млн
Количество заявок
5
Тема
Разработка базовых конструкций и технологий изготовления радиочастотных микроэлектромеханических переключателей с подвижными элементами на основе алмазных и алмазоподобных пленок.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование процессов формирования наноструктурных неметаллических неорганических покрытий, а также получения микронных, субмикронных и наноразмерных компонентов и создания на их основе керамических пластин с особыми свойствами
Продолжительность работ
2013, 7 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
9