Разработка высокоскоростного выращивания поли- и монокристаллических алмазных пленок и пластин (CVD-технология).

Повышение стабильности источников питания гиротрона с целью обеспечения долговременной непрерывной работы. Модернизация охлаждающих систем для модового преобразователя и волноводного тракта.Модернизация системы охлаждаемых квазиоптических зеркал, обеспечивающих стабильное поддержание микроволнового разряда с повышенной плотностью электронов на частоте 30 ГГц вблизи подложки площадью 100 см2.Расчет параметров плазмы и потоков радикалов на подложку в СВЧ разряде в двух встречных волновых пучках, направляемых на подложку под большими углами. Экспериментальное исследование влияния состава и давления газовой смеси, температуры подложки на процесс осаждения алмазных пленок на подложку диаметром 60-75 мм при мощности гиротрона 6-10 кВт.

Исследование структуры и качества получаемых алмазных пленок с помощью рамановской, электронной эмиссионной и атомной силовой спектроскопии. Проведение цикла экспериментов по осаждению алмазных пленок на подложку диаметром 60-75 мм в газовых смесях, содержащих кислород и углекислый газ с целью повышения качества алмазных пленок. Изготовление и испытания автоматической системы управления, контроля и сбора данных CVD реактора, обеспечивающей длительное поддержание требуемых условий синтеза алмазных пленок в реакторе. Получение экспериментальных образцов алмазных пластин диаметром 60-75 мм и толщиной 0,1-0,5 мм.

Исследование структуры и качества получаемых алмазных пленок с помощью рамановской, электронной эмиссионной и атомной силовой спектроскопии. Проведение цикла эксперименотв по осаждению алмазных пленок на подложку диаметром 60-75 мм в газовых смесях, содержащих кислород и углекислый газ с целью повышения качества алмазных пленок. Изготовление и испытания автоматической системы управления, контроля и сбора данных CVD реактора, обеспечивающей длительное поддержание требуемых условий синтеза алмазных пленок в реакторе.