Регистрация / Вход
Прислать материал

Создание технологии ультравысокой очистки аммиака для нужд электронной промышленности.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.435.11.2028
Продолжительность работ
2006, 7 мес.
Бюджетные средства
5 млн
Внебюджетные средства
0 млн

получение аммиака «электронной чистоты» с ультранизким содержанием критических примесей

Этапы проекта

1
14.03.2006 - 30.04.2006
Исследован и изучен опыт работ по высокой очистке аммиака, проводившихся ранее в специализированных научных центрах. В результате обоснованы и выбраны базовые технические решения и направления дальнейших исследований и работ, отвечающие целям данной работы. В основу дальнейшей разработки процесса положена многоступенчатая схема очистки с использованием высокоэффективной хемосорбции и низкотемпературной ректификации. Начата разработка специального
технологического оборудования и системы автоматического контроля и управления экспериментальным стендом.
Развернуть
2
01.05.2006 - 31.07.2006
1.Для монтажа подготовлено и оборудовано помещении рабочей зоны, с предусмотренной системой двойной вытяжной вентиляции (одна аварийная с выводом воздуха через барботер с 200л воды). Электрообеспечение помещения и аварийная вентиляция выполнены с учетом требований по взрывобезопасности. Предусмотрено аварийное включение вентиляции в случае обнаружения повышенного содержания аммиака в атмосфере рабочей зоны.
2.Закуплены и подготовлены все необходимые материалы: сырьевой аммиак, сорбенты для предварительной очистки и реагенты для обеспечения работы оборудования.
3.Уточнены принципиальные схемы каждой из трех ступеней очистки. Раздельно смонтировано и апробировано оборудование ступеней очистки:
а) начальная ступень очистки методом одно- или двукратного вымораживания сырьевого из промышленных баллонов, проведены первые эксперименты;
б) ступень трехкратной сорбционной очистки (на активированном угле, активированном оксиде алюминия и NaХ),
в) начата сборка ректификационной колонны, подготовлены два типа насадки,
г) смонтирована и произведены пробные запуски системы периодической вакуумной термической очистки ректификационного и сорбционного оборудования.
Развернуть
3
01.08.2006 - 31.10.2006
Завершен следующий комплекс работ, направленных на экспериментальную отработку технологии очистки аммиака и получение продукта требуемой степени чистоты.
1. Запущен опытно-экспериментальный стенд.
2. Последовательно по ступеням очистки проведены серии экспериментов по достижению высшей степени очистки аммиака.
3. Все данные, полученные в процессе проведенных экспериментов и испытаний ( параметры процессов, режимы работы оборудования и т.п.) собраны, запротоколированы и оставляют базу данных проведенной ОТР.
4. В процессе работы проведена оценка патентной чистоты принятых и патентоспособности разработанных технических решений.
Выводы
В результате проведенной работы:
- окончательно уточнены параметры процесса и режимы работы оборудования и разработана заданная технология,
- подготовлено (выпущено) четыре публикации в т.ч. в материалы международной конференции,
- подготовлена одна заявка на изобретение.
- подготовлены условия для дальнейшей работы по созданию промышленного производства.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.3 Прикладные разработки в рамках системы приоритетных направлений
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в интересах развития высокотехнологичных секторов экономики: 1. Исследование транспортных свойств мембран на основе полимерных композитов в мембранных процессах; 2. Определение проницаемости новых полимерных мембран на основе блоксополимеров окиси этилена и окиси пропилена и 2,4-толуилендиизоцианта; 3. Исследование транспортных свойств мембран на основе электроактивных полимеров и изучение их фото- и электрофизических характеристик; 4. Разработка способа очистки тетрафторида углерода методом мембранного газоразделения; 5. Реконструкционные состояния поверхности и их влияние на морфологические свойства карбида кремния при вакуумном отжиге в установках молекулярно-лучевой эпитаксии; 6. Разработка способа разделения хлористого водорода и водорода методом абсорбционной первапорации; 7. Разработка методики определения параметров сорбции воды на полимерных материалах методом обращенной газовой хроматографии; 8. Разработка методики определения примеси метана и диоксида углерода в водороде; 9. Разработка методики определения параметров сорбции аммиака на полимерных материалах методом обращенной газовой хроматографии; 10. Разработка модели расчета процесса синтеза хлорсиланов методом диспропорционирования трихлорсилана; 11. Разработка методики анализа хлорсиланов и хлористого водорода в тетрахлориде кремния
Продолжительность работ
2009, 3 мес.
Бюджетные средства
1,85 млн
Организация
НГТУ
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
0,47 млн
Организация
НГТУ
профинансировано
Продолжительность работ
2010 - 2011, 12 мес.
Бюджетные средства
0,6 млн
Организация
ФГБНУ "ФЦТРБ-ВНИВИ"
профинансировано
Тема
Создание технологии ультравысокой очистки аммиака для нужд электронной промышленности
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
5 млн
Количество заявок
4
Тема
Разработка комплекса оборудования для тонкой очистки жидкостей и газов от вредных примесей и подготовка к его производству
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
100 млн
Количество заявок
5
Тема
Разработка технологии и создание опытно-промышленного производства электронных блоков для осветительных приборов
Продолжительность работ
2010 - 2012, 26 мес.
Бюджетные средства
180 млн
Количество заявок
9
Тема
Разработка технологий получения и создание опытных производств нового поколения адсорбционно-каталитических материалов для разделения и очистки природных и техногенных газов и жидкостей.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка и создание электрофизических и сорбционно-мембранных комплексов для очистки и регенерации энергетических, трансформаторных, транспортных масел и топлива.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 26 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
1