Создание технологии ультравысокой очистки аммиака для нужд электронной промышленности.
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.435.11.2028
Организация
ФГУП НПО "Радиевый институт им. В.Г. Хлопина"
Продолжительность работ
2006, 7 мес.
Бюджетные средства
5 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Конкурс
Создание технологии ультравысокой очистки аммиака для нужд электронной промышленности
получение аммиака «электронной чистоты» с ультранизким содержанием критических примесей
Этапы проекта
1
14.03.2006 - 30.04.2006
Исследован и изучен опыт работ по высокой очистке аммиака, проводившихся ранее в специализированных научных центрах. В результате обоснованы и выбраны базовые технические решения и направления дальнейших исследований и работ, отвечающие целям данной работы. В основу дальнейшей разработки процесса положена многоступенчатая схема очистки с использованием высокоэффективной хемосорбции и низкотемпературной ректификации. Начата разработка специального
технологического оборудования и системы автоматического контроля и управления экспериментальным стендом.
технологического оборудования и системы автоматического контроля и управления экспериментальным стендом.
2
01.05.2006 - 31.07.2006
1.Для монтажа подготовлено и оборудовано помещении рабочей зоны, с предусмотренной системой двойной вытяжной вентиляции (одна аварийная с выводом воздуха через барботер с 200л воды). Электрообеспечение помещения и аварийная вентиляция выполнены с учетом требований по взрывобезопасности. Предусмотрено аварийное включение вентиляции в случае обнаружения повышенного содержания аммиака в атмосфере рабочей зоны.
2.Закуплены и подготовлены все необходимые материалы: сырьевой аммиак, сорбенты для предварительной очистки и реагенты для обеспечения работы оборудования.
3.Уточнены принципиальные схемы каждой из трех ступеней очистки. Раздельно смонтировано и апробировано оборудование ступеней очистки:
а) начальная ступень очистки методом одно- или двукратного вымораживания сырьевого из промышленных баллонов, проведены первые эксперименты;
б) ступень трехкратной сорбционной очистки (на активированном угле, активированном оксиде алюминия и NaХ),
в) начата сборка ректификационной колонны, подготовлены два типа насадки,
г) смонтирована и произведены пробные запуски системы периодической вакуумной термической очистки ректификационного и сорбционного оборудования.
2.Закуплены и подготовлены все необходимые материалы: сырьевой аммиак, сорбенты для предварительной очистки и реагенты для обеспечения работы оборудования.
3.Уточнены принципиальные схемы каждой из трех ступеней очистки. Раздельно смонтировано и апробировано оборудование ступеней очистки:
а) начальная ступень очистки методом одно- или двукратного вымораживания сырьевого из промышленных баллонов, проведены первые эксперименты;
б) ступень трехкратной сорбционной очистки (на активированном угле, активированном оксиде алюминия и NaХ),
в) начата сборка ректификационной колонны, подготовлены два типа насадки,
г) смонтирована и произведены пробные запуски системы периодической вакуумной термической очистки ректификационного и сорбционного оборудования.
3
01.08.2006 - 31.10.2006
Завершен следующий комплекс работ, направленных на экспериментальную отработку технологии очистки аммиака и получение продукта требуемой степени чистоты.
1. Запущен опытно-экспериментальный стенд.
2. Последовательно по ступеням очистки проведены серии экспериментов по достижению высшей степени очистки аммиака.
3. Все данные, полученные в процессе проведенных экспериментов и испытаний ( параметры процессов, режимы работы оборудования и т.п.) собраны, запротоколированы и оставляют базу данных проведенной ОТР.
4. В процессе работы проведена оценка патентной чистоты принятых и патентоспособности разработанных технических решений.
Выводы
В результате проведенной работы:
- окончательно уточнены параметры процесса и режимы работы оборудования и разработана заданная технология,
- подготовлено (выпущено) четыре публикации в т.ч. в материалы международной конференции,
- подготовлена одна заявка на изобретение.
- подготовлены условия для дальнейшей работы по созданию промышленного производства.
1. Запущен опытно-экспериментальный стенд.
2. Последовательно по ступеням очистки проведены серии экспериментов по достижению высшей степени очистки аммиака.
3. Все данные, полученные в процессе проведенных экспериментов и испытаний ( параметры процессов, режимы работы оборудования и т.п.) собраны, запротоколированы и оставляют базу данных проведенной ОТР.
4. В процессе работы проведена оценка патентной чистоты принятых и патентоспособности разработанных технических решений.
Выводы
В результате проведенной работы:
- окончательно уточнены параметры процесса и режимы работы оборудования и разработана заданная технология,
- подготовлено (выпущено) четыре публикации в т.ч. в материалы международной конференции,
- подготовлена одна заявка на изобретение.
- подготовлены условия для дальнейшей работы по созданию промышленного производства.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы
Программное мероприятие
1.3 Прикладные разработки в рамках системы приоритетных направлений
Исследование методов проектирования наноразмерной электронной компонентной базы на основе параметризованных библиотечных элементов с ультранизкой потребляемой мощностью
профинансировано
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в интересах развития высокотехнологичных секторов экономики: 1. Исследование транспортных свойств мембран на основе полимерных композитов в мембранных процессах; 2. Определение проницаемости новых полимерных мембран на основе блоксополимеров окиси этилена и окиси пропилена и 2,4-толуилендиизоцианта; 3. Исследование транспортных свойств мембран на основе электроактивных полимеров и изучение их фото- и электрофизических характеристик; 4. Разработка способа очистки тетрафторида углерода методом мембранного газоразделения; 5. Реконструкционные состояния поверхности и их влияние на морфологические свойства карбида кремния при вакуумном отжиге в установках молекулярно-лучевой эпитаксии; 6. Разработка способа разделения хлористого водорода и водорода методом абсорбционной первапорации; 7. Разработка методики определения параметров сорбции воды на полимерных материалах методом обращенной газовой хроматографии; 8. Разработка методики определения примеси метана и диоксида углерода в водороде; 9. Разработка методики определения параметров сорбции аммиака на полимерных материалах методом обращенной газовой хроматографии; 10. Разработка модели расчета процесса синтеза хлорсиланов методом диспропорционирования трихлорсилана; 11. Разработка методики анализа хлорсиланов и хлористого водорода в тетрахлориде кремния
профинансировано
Интенсификация процесса низкотемпературной кристаллизации аммиака методом мембранного газоразделения
профинансировано
Разработка ветеринарных технологий защиты животных от отравлений парами аммиака
Продолжительность работ
2010 - 2011, 12 мес.
Бюджетные средства
0,6 млн
Организация
ФГБНУ "ФЦТРБ-ВНИВИ"
профинансировано
Наименование исследований: Экспериментально-теоретические. Наименование проблемы исследования: Разработка энергоэффективной технологии получения высокочистого аммиака для производства энергосберегающих источников света.
профинансировано