Создание наносенсора, работающего на одновременной регистрации четырех электрофизических параметров, и исследование его свойств.

1) Экспериментально установлено, что УМНТ – углеродные многостенные нанотрубки являются основой для создания сенсорных устройств нового поколения.
2) Проведенные эксперименты показали, что УМНТ обладают сенсорными свойствами в отношении метана, водорода, оксида и диоксида углерода и их смеси.
3) Разработаны плазмохимические методы функционализации поверхности нанотрубок.
4) Созданы гидрофильные и гидрофобные модификации нанотрубок.
5) Разработаны методы, позволяющие «прививать» различные функциональные группы к поверхности нанотрубок, меняя их физико-химические характеристики.
6) Разработаны одно- и многоразовые чувствительные элементы на основе УМНТ, заполненных химически и физически реагирующими с исследуемыми газами веществами.
7) Созданы композиты на основе углеродных многостенных нанотрубок и различных полимерных и не полимерных материалов обладающих сенсорными свойствами в отношении заявленных газов.
8) Разработаны различные варианты чувствительного элемента сенсора
9) Выбраны материалы для создания нанодатчика, работающего на одновременной регистрации четырех электрофизических параметров.
10) Разработаны технологические принципы создания чувствительного элемента сенсора многоразового использования и картриджного типа.
11) Разработана технология вакуумного осаждения на поверхности нанотрубок полупроводящих слоев ориентированных полимеров. Это дает возможность создавать наносенсорные устройства для анализа и распознавания различных молекул в газовой фазе.
12) Выявлено изменение сопротивления и электрической емкости образцов в зависимости от концентрации двуокиси углерода, водорода и метана в смеси с воздухом. Определена разность температуры образца при его остывании в атмосфере различных газов.
13) Разработан резонансный метод анализа заявленных газов и их смесей

В результате выполненной работы по созданию наносенсора, работающего на одновременной регистрации четырех электрофизических параметров, были получены следующие результаты:
- выбран конструктивно-технологический вариант наносенсора;
- разработана конструкция наносенсора и послойная топология;
- по разработанным эскизам послойной топологии наносенсора изготовлен комплект фотошаблонов;
- разработана маршрутная технология изготовления макетного образца наносенсора;
- по разработанной маршрутной технологии изготовлен макетный образец наносенсора;
- изготовлен стенд для испытаний макетного образца наносенсора по разработанной методике испытаний;
проведены испытания макетного образца наносенсора, составлен протокол испытаний.