Регистрация / Вход
Прислать материал

Теоретическое и экспериментальное исследование процессов в плазме двухчастотных ВЧ разрядов, используемых в субмикронной технологии.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.442.11.7129
Организация
НИИЯФ МГУ
Продолжительность работ
2005, 1 мес.
Бюджетные средства
0,36 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Информация отсутствует

Этапы проекта

1
27.10.2005 - 25.11.2005
Целью выполнения НИР являлась оптимизация параметров плазмы двухчастотных ВЧ разрядов для независимого управления потоком и энергией ионов, разработка плазменной кинетики в сложных газовых смесях и самосогласованных численных моделей разряда. С этой целью было проведено экспериментально-теоретическое исследование неравновесных процессов в плазме одночастотных и двухчастотных емкостных ВЧ разрядов в широком диапазоне параметров.
С использованием зондового метода диагностики, измерена плотность плазмы в разряде в Ar при различных мощностях. Получены экспериментальные скорости возбуждения атомов Ar(2p1) и ионов Ar+ методом оптической эмиссионной спектроскопии. Разработана пространственно-одномерная самосогласованная модель емкостного ВЧ разряда, которая была протестирована для случаев одночастотного и двухчастотного режимов в широком диапазоне разрядных параметров, на основе сравнения с полученными экспериментальными данными. Была разработана базы данных по плазмохимии смесей Ar/O2/CHxFy/CF4 и рассчитаны скорости электронных процессов в широком диапазоне температур электронов.
Результаты НИР могут быть использованы в производственной деятельности предприятий микроэлектронной промышленности для проведения ОКР по разработке нового поколения плазменных реакторов травления, используемых в субмикронной технологии, и их последующей оптимизации. Кроме того, результаты НИР могут применяться для разработки принципиально новых методов аналитической диагностики плазмы, возбуждаемой емкостным ВЧ разрядом в реакторах травления, и разработки принципиально новых методов численного моделирования плазмы таких разрядов.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.9 Проведение молодыми учеными научных исследований по приоритетным направлениям науки, высоких технологий и образования
Тема
Экспериментально-теоретические исследования эрозионных процессов в условиях стохастического инициирования и схлопывания кавитационных каверн в вихревом турбулентном потоке.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
12 млн
Количество заявок
2
Тема
«Разработка технологии производства нового класса объемных термоэлектрических материалов с нано- и субмикронными элементами структуры для термоэлектрических модулей».
Продолжительность работ
2011 - 2013, 31 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка мощных СВЧ источников. Лабораторное моделирование явлений в ионосферной и магнитосферной плазме. Взаимодействие сверхсильных СВЧ полей с плазмой и вещееством на установке: "Экспериментальный стенд для изучения процессов взаимодействия сверхсильных электромагнитных полей с плазмой (КРОТ) (рег. № 01-18)"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
3,5 млн
Количество заявок
1
Исследование теплофизических, оптических и транспортных характеристик плотной плазмы сложного химического и ионизационного состава в условиях интенсивных радиационных, электромагнитных и ударно-волновых нагрузок. Исследование физики нового класса сильноточных излучающих плазмодинамических разрядов экстремальной плотности тока и радиационно-плазмодинамических механизмов генерации, нагрева и ускорения гиперзвуковых потоков плотной плазмы сложного химического и ионизационного состава. Фундаментальные исследования нелинейных радиационно-плазмодинамических эффектов взаимодействия ускоренных потоков излучающей плотной плазмы с конденсированными, газовыми и плазменными средами на установке: "Научно-исследовательский экспериментально- диагностический стенд на основе сильноточного магнито-плазмодинамического ускорителя экстремальной плотности мощности (ЛУЧ СО1) (рег. № 06-17)"
Тема
Исследование теплофизических, оптических и транспортных характеристик плотной плазмы сложного химического и ионизационного состава в условиях интенсивных радиационных, электромагнитных и ударно-волновых нагрузок. Исследование физики нового класса сильноточных излучающих плазмодинамических разрядов экстремальной плотности тока и радиационно-плазмодинамических механизмов генерации, нагрева и ускорения гиперзвуковых потоков плотной плазмы сложного химического и ионизационного состава. Фундаментальные исследования нелинейных радиационно-плазмодинамических эффектов взаимодействия ускоренных потоков излучающей плотной плазмы с конденсированными, газовыми и плазменными средами на установке: "Научно-исследовательский экспериментально- диагностический стенд на основе сильноточного магнито-плазмодинамического ускорителя экстремальной плотности мощности (ЛУЧ СО1) (рег. № 06-17)"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
2,1 млн
Количество заявок
1
Тема
Теоретические и расчетные исследования физики турбулентной плазмы в магнитных термоядерных системах.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
2