Теоретическое и экспериментальное исследование процессов в плазме двухчастотных ВЧ разрядов, используемых в субмикронной технологии.

Целью выполнения НИР являлась оптимизация параметров плазмы двухчастотных ВЧ разрядов для независимого управления потоком и энергией ионов, разработка плазменной кинетики в сложных газовых смесях и самосогласованных численных моделей разряда. С этой целью было проведено экспериментально-теоретическое исследование неравновесных процессов в плазме одночастотных и двухчастотных емкостных ВЧ разрядов в широком диапазоне параметров.
С использованием зондового метода диагностики, измерена плотность плазмы в разряде в Ar при различных мощностях. Получены экспериментальные скорости возбуждения атомов Ar(2p1) и ионов Ar+ методом оптической эмиссионной спектроскопии. Разработана пространственно-одномерная самосогласованная модель емкостного ВЧ разряда, которая была протестирована для случаев одночастотного и двухчастотного режимов в широком диапазоне разрядных параметров, на основе сравнения с полученными экспериментальными данными. Была разработана базы данных по плазмохимии смесей Ar/O2/CHxFy/CF4 и рассчитаны скорости электронных процессов в широком диапазоне температур электронов.
Результаты НИР могут быть использованы в производственной деятельности предприятий микроэлектронной промышленности для проведения ОКР по разработке нового поколения плазменных реакторов травления, используемых в субмикронной технологии, и их последующей оптимизации. Кроме того, результаты НИР могут применяться для разработки принципиально новых методов аналитической диагностики плазмы, возбуждаемой емкостным ВЧ разрядом в реакторах травления, и разработки принципиально новых методов численного моделирования плазмы таких разрядов.