Проведение научных исследований молодыми учеными. Исследование элементов самоформируемых транзисторных структур для микросхем радиочастотного диапазона, используемых в новых информационно-коммуникационных системах.

Проведен анализ научно-технических достижений и перспектив развития применительно к решаемой задаче, проведен анализ основных методов самоеовмещения и самоформирования, используемых при создания транзисторных структур различного уровня сложности. Выбран конструктивный вариант самоформируемой транзисторной структуры, представляющей интерес для применения в микросхемах радиочастотного диапазона. Определены методы самосовмещения и самоформирования, которые могут быть использованы при реализации выбранной транзисторной структуры.

В рамках проводимых работ:
1) Разработан эскизный технологический маршрут для выбранной самоформируемой транзисторной структуры.
2) Проведена технологическая оценка блоков маршрута, определены критичные места.
3) Разработаны детализированные конструктивно-структурные схемы для реализации базового технологического маршрута.
4) Разработан детализированный базовый технологический маршрут реализации самоформируемой транзисторной.
5) Составлен и оформлен научно-технический отчет о проделанной работе.