Выполнение научно-исследовательской работы "Технологии изготовления микромеханических приборов" во время проведения стажировки в Центре микротехнологии и диагностики (ЦМИД) Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (ЛЭТИ) им. В.И. Ульянова (Ленина).

В результате выполнения НИР освоены методики препарирование и анализа, модификации и реконструкции, и создание микромеханических структур на основе технологии остросфокусированного ионного пучка. Разработана конструкция и технология изготовления микромеханического гироскопа с двумя осями чувствительности на основе карбида кремния, адаптированная к технологическим процессам изготовления ЦМИД СПбГЭТУ. Предложенный микромеханический гироскоп изготавливается по технологии поверхностной микрообработки, что повышает степень интеграции данного устройства с другими функциональными элементами микросистем. Исследовано изменение динамических характеристик микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности, изготавливаемого по технологии поверхностной микрообработки, у четом технологических погрешностей. Разработаны высокоуровневые VHDL-описания логических элементов на основе микромеханических ключей, адаптированные к существующим в России системам автоматизированного проектирования.
Объектом исследования являются технологии изготовления микромеханических приборов в Центре микротехнологии и диагностики (ЦМИД) Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (ЛЭТИ) им. В.И.Ульянова (Ленина)» (СПбГЭТУ), разработка конструкции и технологического маршрута изготовления микромеханического прибора, исследование изменений собственных частот колебаний гироскопа с тремя осями чувствительности, разработка высокоуровневых описаний микромеханических приборов.
Результаты исследований могут быть использованы при разработке многоосевых микромеханических компонентов микросистем ориентации и навигации подвижных объектов и методов их проектирования.