Регистрация / Вход
Прислать материал

Выполнение научно-исследовательской работы "Технологии изготовления микромеханических приборов" во время проведения стажировки в Центре микротехнологии и диагностики (ЦМИД) Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (ЛЭТИ) им. В.И. Ульянова (Ленина).

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.444.11.7179
Организация
ТРТУ

Проведение стажировок молодыми учеными и преподавателями в российских научно-образовательных центрах.

Соисполнители

Организация
ОАО "ЦТМ"

Этапы проекта

1
26.10.2005 - 25.11.2005
В результате выполнения НИР освоены методики препарирование и анализа, модификации и реконструкции, и создание микромеханических структур на основе технологии остросфокусированного ионного пучка. Разработана конструкция и технология изготовления микромеханического гироскопа с двумя осями чувствительности на основе карбида кремния, адаптированная к технологическим процессам изготовления ЦМИД СПбГЭТУ. Предложенный микромеханический гироскоп изготавливается по технологии поверхностной микрообработки, что повышает степень интеграции данного устройства с другими функциональными элементами микросистем. Исследовано изменение динамических характеристик микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности, изготавливаемого по технологии поверхностной микрообработки, у четом технологических погрешностей. Разработаны высокоуровневые VHDL-описания логических элементов на основе микромеханических ключей, адаптированные к существующим в России системам автоматизированного проектирования.
Объектом исследования являются технологии изготовления микромеханических приборов в Центре микротехнологии и диагностики (ЦМИД) Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (ЛЭТИ) им. В.И.Ульянова (Ленина)» (СПбГЭТУ), разработка конструкции и технологического маршрута изготовления микромеханического прибора, исследование изменений собственных частот колебаний гироскопа с тремя осями чувствительности, разработка высокоуровневых описаний микромеханических приборов.
Результаты исследований могут быть использованы при разработке многоосевых микромеханических компонентов микросистем ориентации и навигации подвижных объектов и методов их проектирования.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.11 Развитие системы стажировок молодых ученых и преподавателей в крупных научно-образовательных центрах (включая зарубежные) и участие в конференциях, симпозиумах, семинарах, школах (в том числе за рубежом)
Тема
Выполнение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ молодыми учеными и преподавателями во время проведения стажировок в российских научно-образовательных центрах.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
28,8 млн
Количество заявок
174
Тема
Выполнение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ молодыми учеными и преподавателями во время проведения стажировок в зарубежных научно-образовательных центрах.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
17,6 млн
Количество заявок
42
Тема
Выполнение научно-исследовательских работ молодыми учеными и преподавателями во время проведения стажировок в зарубежных научно-образовательных центрах (в том числе с участием в конференциях, симпозиумах, семинарах, школах).
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
46 млн
Количество заявок
153
Тема
Разработка технологических основ оперативной диагностики электротехнического оборудования
Продолжительность работ
2007 - 2008, 18 мес.
Бюджетные средства
36 млн
Количество заявок
8
Тема
Научно-методическое и организационно-техническое сопровождение в 2008 году Второго Санкт-Петербургского международного экологического форума.
Продолжительность работ
2008, 5 мес.
Бюджетные средства
1 млн
Количество заявок
1