Регистрация / Вход
Прислать материал

"Разработка физических основ высокоэффективного метода ионно-ассистированного осаждения и ионно-имплантационной обработки из лазерной плазмы многофункциональных нано-структурированных тонкопленочных материалов".

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.445.11.7006
Организация
НИЯУ МИФИ

«Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации»

Этапы проекта

1
05.09.2005 - 30.11.2005
В результате исследования впервые были всесторонне изучены механизмы и установлены важные закономерности формирования ионных пучков и новых нано-структурированных тонкопленочных материалов при разлете и осаждении лазерной плазмы под воздействием высоковольтных импульсов заданной формы. Создана компьютерная модель, которая позволяет исследовать динамику лазерной плазмы и внешнего поля, а также рассчитывать энергетическое распределение ионов, ускоряемых высоковольтными импульсами различной формы из импульсной лазерной плазмы на различных этапах ее разлета от мишени к подложке.
Проведены сравнительные исследования экспериментально измеренных и модельных глубинных профилей ионов, имплантированных в монокристаллический кремний из импульсной лазерной плазмы. Показано, что созданная модель позволяет вполне удовлетворительно прогнозировать энергетические характеристики ионных пучков. Это имеет большое значение для внедрения методики лазерно-плазменной ионной имплантации в различных технологических процессах, использующих высокоэнергетическое ионное облучение для модифицирования поверхности материалов и синтеза новых структур.
  Созданы новые нано-структурированные тонкопленочные материалы, содержащие твердые (алмазоподобный углерод – ta-C, WC) и твердосмазочные компоненты (WSex), изучены их структурно-фазовые характеристики. Выявлены факторы, связанные с влиянием высокоэнергетического иного облучения на свойства тонкопленочных материалов при осаждении на стальную подложку. Определены требования к структуре и химическому составу многослойных покрытий W-Se-C/ ta-C/SiC, обладающих высокой износостойкостью и качественными антифрикционными свойствами при трибологических испытаниях на воздухе без смазки.
Эффективность и перспективность практического применения разработанной новой методики определяется технической простотой реализации процессов ионной обработки и осаждения покрытий, а также высокой универсальностью импульсного лазерного излучения для создания плазменных потоков самых различных материалов.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.12 Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации
Продолжительность работ
2005, 2 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ФТИ им. А.Ф.Иоффе
профинансировано
Тема
Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации. Проведение научно-исследовательских работ по приоритетным направлениям Программы
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
753
Тема
Исследование возможности получения слоев нанокристаллического кремния природного и модифицированного изотопного состава методом стимулированного плазмой химического осаждения из газовой фазы.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Выполнение научно-исследовательских работ по приоритетным направлениям Программы и поисковых исследований фундаментального характера молодыми учеными и преподавателями, проходящими стажировку в крупном российском научном (научно-образовательном) центре.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Количество заявок
27
Тема
Разработка новых многофункциональных нанопокрытий и технологии их нанесения.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
115 млн
Количество заявок
1
Тема
Научно-организационное, методическое и техническое обеспечение создания международного научно-образовательного центра в области проектирования микро- и наносистем.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
22 млн
Количество заявок
2