Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации. Выполнение научно-исследовательских работ по приоритетным направлениям Программы. "Разработка перспективной элементной базы интеллектуальных интегрированных систем".

В результате работы были разработаны методы проектирования радиочастотных и акустических микросистем с использованием кремниевого конструктивно-технологического базиса. Была разработана технология изготовления МЭМС-переключателей с электростатическим приводом действия, а именно - технология поверхностной микромеханики. Данная технология основана на вытравливание опорного или "жертвенного" или опорного слоя из-под заранее сформированной структуры, которая в результате становиться подвижной. Изготовленные с помощью поверхностной микромеханики МЭМС имеют характерные размеры в несколько десятков или сотен микрон в длину и от долей до нескольких микрон в толщину. Основным недостатком технологии поверхностной микромеханики является относительно сложный, связанный с использованием специальных обработок, технологический цикл, к достоинствам поверхностной микромеханики относятся односторонняя обработка, возможность масштабирования структур переключателей вплоть до нескольких десятков микрон с сохранением их относительных (чувствительность и др.) механических характеристик и хорошая совместимость с интегральной технологии.
Получены научные данные о процессе формирования упорядоченных пористых полупроводниковых и диэлектрических наноструктур, а также композитов на их основе. Предложена методика процесса формирования анодного оксида алюминия в позволившая при ее реализации получить максимальную степень упорядоченности структур пористого оксида алюминия. Показана возможность электрохимического заполнения пор оксида алюминия различными материалами, что позволило сформировать нанокомпозиты типа металл-диэлектрик и полупроводник-диэлектрик.
Предложено электрофизическое представление двухслойной структуры: пористый анодный оксид алюминия - алюминий, включенной в электрохимическую ячейку, позволившее разработать процесс электрохимического осаждения металлов в поры оксида алюминия в режиме переменного тока. Также разработан способ преобразования массивов металлических нанонитей, встроенных в матрицу пористого анодного оксида алюминия, в сульфиды и селениды, заключающийся в их обработке в среде, содержащей пары серы или селена, при температурах, превышающих температуру плавления металлов.