Регистрация / Вход
Прислать материал

Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации. Выполнение научно-исследовательских работ по приоритетным направлениям Программы. "Разработка технологии высокоскоростного газофазного осаждения алмазных пленок на основе импульсного СВЧ разряда".

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.445.11.7359
Организация
ИПФ РАН

Выполнение научно-исследовательских работ по приоритетным направлениям программы: «Информационно-телекоммуникационные системы», «Индустрия наносистем и материалы», «Живые системы», «Рациональное природопользование», «Энергетика и энергосбережение», «Безопасность и противодействие терроризму» и развитие на этой основе ведущих научных школ (в том числе улучшение их квалификационной и возрастной структуры).

Этапы проекта

1
09.06.2006 - 02.10.2006
Целью работы является разработка технологии высокоскоростного газофазного осаждения алмазных пленок, основанной на использовании импульсно-периодического СВЧ разряда.

В результате выполнения НИР была проведена модернизация имеющейся установки для исследования процессов импульсного осаждения алмазных пленок. На ней было проведено экспериментальное исследование процесса осаждения алмазной пленки в импульсно-периодическом СВЧ разряде и исследование спектроскопическими методами динамики химически активных компонент газовой смеси в процессе осаждения алмазной пленки. Выполненные численное моделирование и теоретический анализ способствовали пониманию процессов, протекающих в реакторе для осаждения алмазных пленок на основе импульсного СВЧ разряда. Продемонстрировано, что применение импульсно-периодического режима поддержания разряда в микроволновом CVD реакторе на базе объемного резонатора позволяет существенно (в 2–3 раза) увеличить скорость роста алмазной пленки по сравнению с непрерывным режимом.

Полученные результаты являются новыми и имеющими большое значение для развития технологии газофазного осаждения алмаза. Разработанная технология осаждения алмаза позволяет получать алмазные пленки и диски достаточного качества для применения в электронике, в качестве алмазных выходных окон технологических лазеров ИК-диапазона и мощных источников электромагнитного излучения миллиметрового диапазона (гиротронов), при создании новых инструментов в машиностроении и медицинской технике. Научно-технический уровень выполненной научно-исследовательской работы сравним с лучшими мировыми достижениями в данной области.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.12 Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации
Тема
Развитие системы ведущих научных школ как среды генерации знаний и подготовки научно-педагогических кадров высшей квалификации. Выполнение научно-исследовательских работ по приоритетным направлениям Программы.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
320 млн
Количество заявок
600
Тема
Разработка физических основ новых эффективных безмасочных методов наноструктурирования поверхности сверхтвердых керамик и алмазных пленок при помощи облучения наносекундным F2-лазером.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Развитие сети отраслевых центров прогнозирования научно-технологического развития по приоритетным направлениям развития науки и технологий.
Продолжительность работ
2014, 5 мес.
Бюджетные средства
45 млн
Количество заявок
3
Тема
Исследование возможности получения слоев нанокристаллического кремния природного и модифицированного изотопного состава методом стимулированного плазмой химического осаждения из газовой фазы.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Проведение исследований по созданию научно-технического задела технологий новых источников энергии на основе импульсных электроразрядных устройств типа плазменный фокус, быстрый вакуумный разряд, сильноточный z-пинч и лазерных установок.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1