Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка технологии получения нанокарбидных материалов, интегрированных в технологию изготовления устройств бесконтактной радиочастотной идентификации.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.447.11.2004

Разработка технологии получения нанокарбидных материалов со специальными свойствами, а также технологий и оборудования для производства интегрированных устройств на одном кристалле, состоящих из микроэлектронной КМОП-схемы обработки сигнала и блока наномеханических элементов, играющих роль настраиваемых реактивных компонентов и переключателей на различные диапазоны частот вплоть до 1,5 ГГц для устройств бесконтактной спутниковой идентификации.

Соисполнители

Организация
ООО "Скайси"
Организация
ООО «Юник Ай Сиз»
Организация
НИТУ "МИСиС", МИСиС

Этапы проекта

1
15.07.2005 - 30.09.2005
1.1 -Разработка и согласование с Заказчиком комплектности документов по ГОСТ 2.119.73;
-поиск возможных вариантов технологических и конструктивных решений, их конструкторская проработка;
-проработка базовых технологических процессов, их макетирование в рамках общего технологического маршрута;
-проверка технологических и конструктивных решений на патентную чистоту; выбор методов измерений;
- разработка системы технологических и конструкторских тестов.
1.2. -Разработка методов и режимов нанесения нанокарбидных (проводящих) и углеродных (диэлектрических) пленок наноразмерной толщины на основе углеродных и композитных нанокарбидных пленок;
-Получение на основе углеродных и нанокарбидных пленок многослойных пленочных структур, с требуемыми по ТЗ механическими и электрофизическими параметрами;
-Разработка низкотемпературных (не более 300 0С) технологии формирования в кремнии, в структурах КНИ и в нанокарбидных материалах микромембран субмикронной толщины и микробалок микронной толщины;
-Разработка и изготовление измерительного стенда.
Развернуть
2
01.10.2005 - 05.12.2005
В рамках выполнения ОКР выбраны варианты конструкторских и технологических решений проблем интегрирования MEMS технологий и устройств, в микроэлектронные схемы и микроэлектронные технологии. В качестве несущих конструкций подвижных элементов MEMS устройств выбраны углеродные алмазоподобные материалы и низкотемпературные методы их осаждения. Отработаны режимы получения углеродных и нанокарбидных пленок с требуемыми по ТЗ параметрами. Разработаны технологические маршруты и топологии трех комплектов фотошаблонов: для экспериментальных образцов микроэлектромеханических блоков, для экспериментальных образцов наномеханических блоков и для измерений потерь мощности в подложках и новых материалах. Указанные техмаршруты и конструктивные решения содержат элементы патентной новизны. В топологии схем и техмаршруты заложена система технологических и конструкторских тестов.
В рамках выполнения второго этапа ОКР осуществлена технологическая и конструкторская проработка нано- (микроблоков).
Оптимизированы по напряжению конструкции MEMS переключателей и перестраиваемых конденсаторов, разработка которых осуществлялась в рамках I этапа ОКР. Отработаны режимы травления проводящих и диэлектрических углеродных алмазоподобных слоев с диапазонами толщин от 100 А до 1 мкм, с целью их последующего использования в качестве подвижных несущих узлов в технологических маршрутах изготовления MEMS устройств.
Развернуть
3
01.01.2006 - 30.09.2006
В рамках выполнения третьего этапа ОКР выполнена разработка
Технологической документации маршрута изготовления MEMS элементов. Изготовлены опытные образцы MEMS переключателей и конденсаторов и изучены их выходные характеристики. Кроме того, разработана Технологическая документация процесса интеграции MEMS элементов в радиочастотную схему, и изготовлены макеты опытных образцов устройств радиочастотной идентификации. Выполнены предварительные испытания опытных образцов устройства радиочастотной идентификации.
По результатам работы подана заявка на патент, и оформлены и подготовлены к отправке еще две заявки на патентование
Развернуть
4
01.10.2006 - 06.11.2006
Выполнены предварительные испытания опытных образцов устройства радиочастотной идентификации. Подготовлены к приемочным государственным испытаниям два радиочастотных устройства: приемо-передатчик для устройств радиочастотной идентификации на 1,22 ГГц; СВЧ передатчик на 1,517 ГГц.
По результатам работы поданы во ВНИИГПЭ две заявки на патенты.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

2.2 Проведение опытно-конструкторских, технологических и экспериментальных разработок по приоритетным направлениям развития научно-технической сферы (в том числе на долевой основе с хозяйствующими субъектами)
Тема
Разработка технологии получения нанокарбидных материалов, интегрированных в технологию изготовления устройств бесконтактной радиочастотной идентификации.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка базовых конструкций и технологий изготовления радиочастотных микроэлектромеханических переключателей с подвижными элементами на основе алмазных и алмазоподобных пленок.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование принципов построения и разработка методов изготовления микроэлектромеханических радиочастотных переключателей
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Количество заявок
2
Тема
Создание системы бесконтактного дистанционного видеосканирования в ТГц-диапазоне на предмет обнаружения скрытно проносимых запрещенных предметов.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 18 мес.
Бюджетные средства
65 млн
Количество заявок
3
Тема
Исследование перспективных типов сверхвысокочастотных приборов, разработка технологических принципов их изготовления (устройство сбора и аккумулирования энергии СВЧ излучения в диапазоне частот 0,9-6 ГГц).
Продолжительность работ
2013 - 2015, 25 мес.
Бюджетные средства
19,5 млн
Количество заявок
1