Регистрация / Вход
Прислать материал

Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение текущего содержания Центра коллективного пользования "Синхротрон" при ФГУП "НИИФП им. Ф.В. Лукина" ( ЦКП "Синхротрон") научным оборудованием для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям Программы.

Содействие развитию сети центров коллективного пользования научным оборудованием

Этапы проекта

1
10.02.2006 - 31.08.2006
На первом этапе выполнения НИР «Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение текущего содержания Центра коллективного пользования «Cинхротрон» при ФГУП «НИИФП им. Ф.В.Лукина» (ЦКП «Синхротрон») научным оборудованием для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям Программы» в рамках теоретической модели процесса проникновения быстрых электронов (БЭ) в АП сформулированы исследовательские задачи и необходимые экспериментальные методы для их решения. Проведен комплекс исследований вторичной электронной эмиссии с привлечением аналитических методов анализа топографии поверхности, структуры кристалла, типа гибридизации и связей в АП; измерены коэффициенты умножения сплошных и структурированных алмазных пленок «на отражение» и «на просвет»
В результате исследований выявлено два недостатка АП, полученных на технологической установке НИИЯФ МГУ: малое время жизни неравновесных электронов в объеме материала и неудачное конструктивное исполнение устройства сопряжения СВЧ тракта с ростовой камерой, что делает крайне малой площадь области однородности АП (~4х4 мм2). Разработана камера-приставка к технологическому комплексу «Алмаз» для выращивания однородных АП на больших площадях (~100х100 мм2).
Представлены результаты расчета параметров функции распределения БЭ, позволяющие оптимизировать толщину сплошной АП для получения максимального выхода вторичных электронов «на просвет».
Предложены три способа изготовления сетчатых конструкций пленок умножителей потока электронов на основе АП. Разработан базовый элемент – матричный усилитель электронного потока, а также показана принципиальная возможность использования АП в терабитном ЗУ для суперкомпьютеров.
Разработан перечень услуг ЦКП научным организациям, заинтересованным в использовании методов оптической, растровой электронной микроскопии; вторично-ионной масс, оже спектроскопии и профилеметрии.
Заключен договор с поставщиком на закупку оборудования.
Развернуть
2
01.09.2006 - 10.10.2006
АННОТАЦИЯ
  работы по второму этапу НИР «Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение текущего содержания Центра коллективного пользования «Cинхротрон» при ФГУП «НИИФП им. Ф.В.Лукина» (ЦКП «Синхротрон») научным оборудованием для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям Программы»
( Шифр «2006-РИ-25.0/001/088»)
Второй этап НИР посвящен исследованию структуры и элементного состава рабочих слоёв и пограничных областей транзисторов, изготовленных по силицидной технологии на КНИ-подложках методами вторично-ионной масс-спектрометрии, Оже-спектроскопии и растровой электронной микроскопии.
Исследован процесс формирования моносилицида никеля NiSi на поверхности кремниевых пластин для применения в технологическом процессе создания МОП-транзисторов субмикронного и нанометрового диапазона.. Конкретно. Методом Оже-спектроскопии показана стехиометричность полученного моносилицида никеля на всех исследованных подложках: 1) КДБ подложка, легированная фосфором; 2) КЭФ подложка, легированная бором; 3) Поликристаллический кремний, легированный фосфором. Методом Вторично-ионной масс-спектроскопии изучено перераспределение легирующих примесей (бора и фосфора) в процессе роста силицида никеля на трех типах подложек. Растровая электронная микроскопии использовалась при исследовании шероховатости микрорельефа поверхности пленок NiSi и измерении толщин пленок металлов (Ni, Ti) и поликристаллического кремния.
Проведенные исследования показали, что предложенная салицидная технология с применением моносилицида никеля может быть использована для создания полупроводниковых приборов субмикронного и нанометрового диапазона. На основании полученных результатов даны рекомендации по выбору параметров технологического процесса.
Представлена концепция развития ЦКП «Синхротрон» на 2006 – 2011 год.

Руководитель НИР___________________А.И.Козлитин
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

2.5 Содействие развитию сети центров коллективного пользования научным оборудованием
Тема
Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение текущего содержания научного оборудования сети центров коллективного пользования для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям Программы.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
180 млн
Количество заявок
105
Тема
Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение текущего содержания научного оборудования сети центров коллективного пользования для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям Программы.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
172 млн
Количество заявок
81
Тема
Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области нанотехнологий, рационального природопользования, живых систем с использованием пучков синхротронного и терагерцового излучения.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
1
Тема
Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области структурной диагностики и метрологии наносистем и материалов с использованием синхротронного излучения специализированного источника.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
1
Тема
Научно-методическое, организационное и материально-техническое обеспечение развития сети центров коллективного пользования научным оборудованием для проведения научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ по приоритетным направлениям Программы
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
1 670 млн
Количество заявок
44