Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка на базе технологий МЭМС (микроэлектромеханических систем) функционально-параметрического ряда интегрированных микромеханических датчиков состояния жидких и газообразных сред, параметров движения и информационно-измерительных микроэлектромеханических систем на их основе.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.467.11.2011
Организация
МГТУ им. Н.Э.Баумана

Оснащение отечественных систем трубопроводного транспорта, авиа- и автомобилестроительной промышленности современными информационно-измерительными системами нового поколения, обеспечивающими повышение экономической эффективности конечной продукции.

Соисполнители

Этапы проекта

1
24.10.2005 - 08.12.2005
Cозданы методические и конструкторско-технологические основы проектирования и изготовления функционально-параметрического ряда интегрированных микромеханических датчиков (ММД) состояния жидких и газообразных сред и параметров движения и информационно-измерительных микромеханических систем (ИМЭМС) на их основе. В частности, по мероприятиям:
1.3. – Проведен анализ существующих ММД, основных тенденций и перспектив их разработки и применения; технологий изготовления, выбраны и обоснованы наиболее перспективные методы изготовления ММД;
– в рамках развития и адаптации методов и программно-алгоритмического обеспечения математического моделирования ММД, Разработана аналитическая модель функционирования микромеханического гироскопа (ММГ).
1.7.– выбран поставщик комплектующих экспериментального стенда для определения параметров потока в газодинамическом адаптере (ГДА) (ООО «Машприборинторг-Волна», Москва.
1.9. – сформированы темы работ молодых ученых в рамках проекта.
1.10. – проведен конкурсный отбор научно-исследовательских и учебно-исследовательских работ студентов и аспирантов по тематике проекта, составлены планы стажировок на ведущих предприятиях и необходимые материалы.
2.2. – проведена предварительная конструкторско-технологическая проработка и выполнены эскизные проекты ММД состояния жидких и газообразных сред, ММГ и ИМЭМС на их основе.
2.3. – подобраны методические материалы и программное обеспечение по бизнес-планированию, проведено обучение по методам и инструментальным средствам бизнес-планирования.
2.10. – выполнены патентные исследования
Развернуть
2
01.01.2006 - 30.06.2006
Разработаны основные технологические принципы изготовления
чувствительных элементов (ЧЭ) микромеханических датчиков (ММД), созданы экспериментальные образцы микромеханического гироскопа (ММГ) и ЧЭ ММД, проведены экспериментальные исследования работы экспериментальных образцов. Разработаны опытные образцы газодинамического адаптера, многопараметрического расходомерного модуля, ММГ и ИМЭМС на их основе, заключены договоры на изготовление опытного образца ИМЭМС и экспериментального стенда. Проведены стажировки аспирантов и студентов. Проведено маркетинговое исследование рынка продукции, разработан план-график подачи заявок на результаты интеллектуальной деятельности, полученные в ходе выполнения проекта. Проведен семинар участников проекта по вопросам повышения капитализации за счет оформления исключительных прав на результаты интеллектуальной деятельности. Поданы заявки на получение патентов на результаты интеллектуальной деятельности.
Развернуть
3
01.07.2006 - 31.10.2006
В результате выполнения третьего этапа работы изготовлены опытно-промышленные образцы ММД и ИМЭМС на их основе и проведены их испытания. В частности, по мероприятиям:
1.3. – разработана и апробирована технология конструирования трехмерных структур как чувствительных элементов микродатчиков. Изготовлена рентгеновская маска;
– разработаны базовые технологические принципы создания ММГ;
– разработаны технологические процессы изготовления чувствительных элементов ММД давления;
– разработана технологическая документация на изготовление микромеханического датчика расхода.
1.7. – изготовлены экспериментальный стенд для испытаний и отладки газодинамического адаптера и опытно-промышленный образец информационно-измерительной микроэлектромеханической системы контроля параметров газообразных сред для магистральных газопроводов;
– проведена проверка работоспособности стендов и оценка их характеристик для обеспечения испытаний ММГ и ИМЭМС на их основе;
– разработаны предложения по развитию экспериментальной базы и стендового оборудования при создании различных модификаций ММГ и ИМЭМС на их основе.
1.9. – разработаны рекомендации: по комплексированию ГДА и блока интегрированных ММД состояния жидких и газообразных сред; по синтезу и анализу систем управления ММГ; по проектированию конструкций ММГ с заданными динамическими характеристиками;
– разработаны методики и инструментальные средства проектирования ГДА, ММД и ММГ;
– сформулированы технические требования для технических заданий на соответствующие ОКР в части методов и инструментальных средств проектирования;
– оформлены теоретические и экспериментальные части квалификационных работ.
1.10. – проведен анализ результатов работы по развитию системы научно-исследовательской и учебно-исследовательской работы аспирантов и студентов, разработаны рекомендации по развитию системы НИР и УИР аспирантов и студентов.
2.2. – изготовлены опытные образцы ГДА, МРМ, ММГ, ИМЭМС;
– разработаны программы-методики предварительных испытаний ГДА, МРМ, ММГ, ИМЭМС;
– проведены предварительные испытания ГДА, МРМ, ММГ, ИМЭМС; по результатам испытаний скорректирована конструкторская документация на ГДА, МРМ, ММГ, ИМЭМС.
2.3. – разработан бизнес-план «Организация серийного производства многопараметрических расходомерных модулей для определения расхода газа»; разработана концепция компании по привлечению потенциальных потребителей и запуск компании.
2.10. – поданы заявки на результаты интеллектуальной деятельности, проведен семинар участников проекта по анализу и обобщению результатов оформления исключительных прав на результаты интеллектуальной деятельности, полученные в ходе его выполнения.
Таким образом, задачи третьего этапа и работы в целом выполнены в полном объеме в соответствии с техническим заданием и календарным планом государственного контракта от 21 октября № 02.467.11.2011.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.3 Прикладные разработки в рамках системы приоритетных направлений
Продолжительность работ
2011 - 2012, 19 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Организация
НИЯУ МИФИ
профинансировано
Тема
Разработка на базе технологий МЭМС (микроэлектромеханических систем) функционально-параметрического ряда интегрированных микромеханических датчиков состояния жидких и газообразных сред, параметров движения и информационно-измерительных микроэлектромеханических систем на их основе.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
82 млн
Количество заявок
4
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей с интегрированными функциональными наноструктурами и наноматериалами для информационно-телекоммуникационных систем.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Продолжительность работ
2014 - 2016, 28 мес.
Бюджетные средства
48,3 млн
Количество заявок
8
Тема
Разработка измерительного комплекса, программного обеспечения и методов контроля электрофизических, оптических и цветовых характеристик полупроводниковых светоизлучающих гетероструктур и приборов на их основе
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
27,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
4