Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка комплекта вакуумного технологического оборудования для разработки и производства приборов наноэлектроники на основе соединений Si-Ge и А3В5.

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Выполнение этапа проекта
Проект
02.467.11.2012
Организация
ЗАО "НТО"

обеспечение отечественной промышленности и исследовательских учреждений современными приборами на основе соединений Si-Ge и А3В5 для создания перспективных технологических разработок в области нанотехнологий.

Соисполнители

Организация
АО "Светлана-Рост"
Организация
ИАП РАН

Этапы проекта

1
10.11.2005 - 30.11.2005
Создан объединённый научно-технический совет (НТС) проекта. Разработан НТС концепции комплекса технологического оборудования. Разработан список для закупки комплектующих для макетных образцов вакуумного оборудования. Проведена закупка комплектующих для макетных образцов вакуумного оборудования. (1 блок)
Развернуть
2
01.12.2005 - 31.12.2005
Проведено уточнение концепции комплекса технологического оборудования. Уточнен список для закупки комплектующих для макетных образцов вакуумного оборудования. Проведена закупка комплектующих для макетных образцов вакуумного оборудования. (2 блок).
Выработан план разработки базовых технологических процессов на макетах оборудования.
Молодыми учеными проведена научно-исследовательская работа по созданию макетных образцов вакуумного оборудования.
Разработана структура бизнес-плана проекта.
Проведены маркетинговые исследования.
Определены задачи и проведены патентные исследования по ГОСТ Р15.011-96.
Развернуть
3
01.01.2006 - 30.06.2006
Целями на 3 этапе работ были: разработка технологических процессов на макетах вакуумного оборудования, разработка технического проекта и создание испытательного стенда.
2. Методология проведения работы.
- На созданных макетах комплекта оборудования были отработаны технологические процессы и выработаны рекомендации для разработки КД для опытных образцов установок комплекта.
3. Результаты работы.
- В результате выполнения работ 3 этапа проведена разработка технологических процессов на макетах вакуумного оборудования и создана технологическая документация на них, проведена разработка технического проекта и приняты принципиальные решения по конструкции основных составных частей установок, создан испытательный стенд для проведения измерений параметров процессов, разработаны программа и методики предварительных испытаний.
4. Область применения результатов.
- Разработанные на макетах оборудования технологические процессы, результаты которых были исследованы с помощью испытательного стенда, позволили принять все необходимые решения по конструкции основных составных частей установок и разработать технический проект.
- На основании разработанного технического проекта можно приступить к изготовлению опытного образца комплекта вакуумного технологического оборудования.
- Разработанные программы и методики предварительных испытаний позволяют провести испытания опытного образца комплекта вакуумного технологического оборудования.
5. Выводы.
- Разработанные на 3 этапе технический проект, технологические процессы, а также созданный испытательный стенд позволяют приступить к выполнению 4 части проекта – изготовлению опытного образца комплекта вакуумного технологического оборудования и проведению его испытаний.
Развернуть
4
01.07.2006 - 31.10.2006
- Разрабатываемый образец продукции - комплект вакуумного технологического оборудования в составе: установки для электронно-лучевого напыления материалов; установки магнетронного напыления материалов; установки для плазмохимического травления; установки для нанесения диэлектрических пленок; установки для термического отжига предназначен для выполнения комплексных процессов, необходимых для разработки и производства приборов наноэлектроники на основе соединений Si-Ge и А3В5.
Целями на 4 этапе работ были: Изготовление опытного образца комплекта вакуумного технологического оборудования. Предварительные и приемочные испытания. Актуализация бизнес-плана Выработка рекомендаций и оформления заявок на патентование.
2. Методология проведения работы.
На созданных опытном образеце комплекта вакуумного технологического оборудования были проведены предварительные и приемочные испытания. Для комплекта был актуализирован бизнес-план и проведена выработка рекомендаций и оформления заявок на патентование.
3. Результаты работы.
- В результате выполнения работ 4 этапа создан опытный образец комплекта вакуумного технологического оборудования в составе: установки для электронно-лучевого напыления материалов; установки магнетронного напыления материалов; установки для плазмохимического травления; установки для нанесения диэлектрических пленок; установки для термического отжига. Для комплекта оборудования отработаны базовые технологические процессы. Каждый из процессов удовлетворяет современным требованиям к качеству и основным технологическим и электрофизическим параметрам процессов, что подтверждено проведенными предварительными и приемочными испытаниями. Актуализирован бизнес-план. Проведена выработка рекомендаций и оформления заявок на патентование.
4. Область применения результатов.
- Комплект вакуумного технологического оборудования предназначен для выполнения комплексных процессов, необходимых для разработки и производства приборов наноэлектроники на основе соединений Si-Ge и А3В5.
- Было продемонстрировано, что в целом комплект оборудования позволяет проводить разработки и изготавливать современные полупроводниковые приборы. Параметры приборов, которые определяются технологическими процессами, проводимыми на комплекте вакуумного технологического оборудования, находятся на самом высоком современном уровне.
5. Выводы.
- Изготовленный на 4 этапе опытный образец комплекта вакуумного технологического оборудования и результаты проведенных испытаний позволяют считать цель проекта достигнутой.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы

Программное мероприятие

1.3 Прикладные разработки в рамках системы приоритетных направлений
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
18,5 млн
Организация
ФГАОУ ВО НИ ТПУ
профинансировано
Продолжительность работ
2005 - 2006, 21 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Организация
ЗАО "НТ-МДТ"
профинансировано
Тема
Разработка комплекта вакуумного технологического оборудования для разработки и производства приборов наноэлектроники на основе соединений Si-Ge и А3В5.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
42,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка универсальной установки вакуумного напыления в вариантном исполнении для разработки и производства устройств для индустрии информационно-телекоммуникационных систем.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 13 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка технологий получения материалов и кристаллических элементов приборов на основе соединений группы А2В6 с новыми функциональными характеристиками и организация их опытно-промышленного производства
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
120 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка базовых технологических процессов и оборудования для исследований и опытного производства приборов наноэлектроники, оптоэлектроники и микросистемной техники.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
230 млн
Количество заявок
1
Тема
Нанокластерированные ферромагнитные материалы для приборов полупроводниковой спиновой наноэлектроники.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2