Разработка методов синтеза нанокристаллических углеродных пленочных материалов для применений в электронике и оптоэлектронике

1. Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме.
2. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
3. Сформулированы возможные направления решения задач, поставленных в ТЗ НИР, и сделана их сравнительная оценка.
4. Выбраны и обоснованы принятое направление исследований и способы решения поставленных задач.
5. Сопоставлены ожидаемые показатели новой продукции после внедрения результатов НИР с существующими показателями изделий-аналогов и с действующей нормативно-технической документацией.
6. Произведен расчет ориентировочной экономической эффективности от внедрения новой продукции с ожидаемыми показателями НИР на основе научного прогнозирования на время разработки, освоения и срока морального старения выпускаемой продукции.
7. Разработана общая методика проведения исследований.
8. Проведены экспериментальные исследования зависимости параметров получаемых кристаллических наноуглеродных пленок от параметров процесса осаждения: температура и материал подложки; состав, давление и скорость прокачки газовой смеси; напряжения и тока газового разряда; длительность осаждения.
9. Определены оптимальные условия для получения наноалмазных и нанографитных пленок.
10. Изучены полученные образцы пленочных наноуглеродных кристаллических материалов методами комбинационного рассеяния света, инфракрасной спектроскопии, электронной микроскопии и др.
10. Написаны 2 статьи по результатам исследований.
11. Составлен и рассмотрен промежуточный отчет.

1. Создана установка для плазмохимического синтеза углеродных пленок с мощностью источника питания до 20 кВт.
2. Проведены тестовые испытания установки.
3. Сделано обобщение результатов предыдущих этапов работ. Проведена оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
4. Проведена оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и услуг и разработаны рекомендации по использованию результатов проведенных НИР.
5. Сформулированы технические требования для технического задания на проведение ОКР.
6. Составлен и оформлен отчет