Исследование закономерностей фотонно-стимулированного локального окисления пленок металлов и органических фотохромных материалов и разработка процессов нанотехнологии для формирования структур наноэлектроники
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3235
Организация
Южный федеральный университет
Руководитель работ
Минкин Владимир Исаакович
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Внебюджетные средства
0,4 млн
В результате выполнения каждой работы должен быть создан необходимый научно-технический задел, обеспечивающий переход к проведению опытно-конструкторских работ с целью последующей коммерциализации
Этапы проекта
1
25.06.2007 - 20.11.2007
Результатами выполненных работ являются: новые технологические процессы нанотехнологии для формирования структур наноэлектроники, комплексные математические модели для оптимизации режимов фотонно-стимулированных технологических процессов формирования оксидных наноразмерных структур, выявленные в процеесе работы закономерности влияния технологических режимов и электрофизических параметров поверхности подложек на формирование наноразмерных структур, закономерности структурного совершенства и электрофизические характеристики наноразмерных структур, полученные режимы фотонно-стимулированных физико-химических процессов локального анодного окисления пленок металлов. Проведена модернизация оснастки СЗМ Solver P47 Pro.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
профинансировано
профинансировано
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
профинансировано