Исследование возможностей использования ЭЦР разряда, поддерживаемого мощным электромагнитным излучением миллиметрового диапазона длин волн, в качестве источника экстремального ультрафиолетового излучения для проекционной литографии высокого разрешения

Стадии проекта

Предложение принято

Конкурс завершен

Проект закончен

Проект

02.513.11.3254

Организация

ИПФ РАН

Руководитель работ

Литвак Александр Григорьевич

Продолжительность работ

2007, 5 мес.

Бюджетные средства

1,2 млн

Внебюджетные средства

1,4 млн

Конкурс

Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области индустрии наносистем и материалов по критической технологии «Нанотехнологии и наноматериалы» (мероприятие 1.3. Программы)

В результате выполнения каждой работы должен быть создан необходимый научно-технический задел, обеспечивающий переход к проведению опытно-конструкторских работ с целью последующей коммерциализации

Этапы проекта

25.06.2007 - 20.11.2007

Проведено экспериментальное и теоретическое исследование процесса образования многозарядных ионов олова в ЭЦР разряде в осесимметричной магнитной ловушке, поддерживаемом коротковолновым излучением гиротрона.
Модернизирована имеющаяся установка с целью обеспечения одновременного ввода в магнитную ловушку вдоль ее оси СВЧ излучения и плазмы вакуумно-дугового разряда, содержащей ионы олова.
Выполнено численное моделирование процессов образования многозарядных ионов в ЭЦР разряде в квазигазодинамическом режиме удержания.
Проведено исследование особенностей дополнительной ионизации ионов олова в импульсном режима поддержания плазмы.
Выполнено измерение абсолютного значения интенсивности излучения в диапазоне экстремального ультрафиолета (13,5 нм). Получены оптимальные условия генерации излучения в указанном диапазоне.
Сформулированы предложения по совершенствованию согласования СВЧ излучения с плазмой, позволяющего увеличить эффективность генерации экстремального ультрафиолета