Разработка механизмов формирования и методов получения нанопленочных слоев и наноразмерных свободных мембран с использованием ионно-плазменных воздействий
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3267
Организация
МАИ
Руководитель работ
Рыжов Юрий Алексеевич
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Внебюджетные средства
0,8 млн
В результате выполнения каждой работы должен быть создан необходимый научно-технический задел, обеспечивающий переход к проведению опытно-конструкторских работ с целью последующей коммерциализации
Этапы проекта
1
25.06.2007 - 20.11.2007
1. Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96 в области методов получения наноразмерных мембран и функциональных покрытий;
2. Экспериментально исследованы и отработаны режимы ионного воздействия для получения наноразмерных мембран на подложках с предварительно сформированной шероховатостью;
3. Экспериментально исследованы и отработаны режимы ионного воздействия для получения многослойных наномембран;
4. Разработаны методы упрочнения мембран путем нанесения на их поверхность дополнительных упрочняющих слоев методом ионно-плазменного перепыления с сохранением исходной проницаемости мембран;
5. Разработаны методы получения одно- и многослойных композиционных нанопокрытий (до 300 нм) в магнетронных распылительных системах (МРС) для экстремальных условий эксплуатации;
6. Разработаны методы математического моделирования и расчетные модели процесса получения наномембран и нанопокрытий для ионно-пучковых и магнетронных систем распыления;
7. Разработаны основы технологических процессов получения наномембран и нанопокрытий методами ионно-плазменного воздействия.
2. Экспериментально исследованы и отработаны режимы ионного воздействия для получения наноразмерных мембран на подложках с предварительно сформированной шероховатостью;
3. Экспериментально исследованы и отработаны режимы ионного воздействия для получения многослойных наномембран;
4. Разработаны методы упрочнения мембран путем нанесения на их поверхность дополнительных упрочняющих слоев методом ионно-плазменного перепыления с сохранением исходной проницаемости мембран;
5. Разработаны методы получения одно- и многослойных композиционных нанопокрытий (до 300 нм) в магнетронных распылительных системах (МРС) для экстремальных условий эксплуатации;
6. Разработаны методы математического моделирования и расчетные модели процесса получения наномембран и нанопокрытий для ионно-пучковых и магнетронных систем распыления;
7. Разработаны основы технологических процессов получения наномембран и нанопокрытий методами ионно-плазменного воздействия.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
профинансировано
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
РХТУ им. Д.И. Менделеева
профинансировано