Разработка механизмов формирования и методов получения нанопленочных слоев и наноразмерных свободных мембран с использованием ионно-плазменных воздействий

1. Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96 в области методов получения наноразмерных мембран и функциональных покрытий;
2. Экспериментально исследованы и отработаны режимы ионного воздействия для получения наноразмерных мембран на подложках с предварительно сформированной шероховатостью;
3. Экспериментально исследованы и отработаны режимы ионного воздействия для получения многослойных наномембран;
4. Разработаны методы упрочнения мембран путем нанесения на их поверхность дополнительных упрочняющих слоев методом ионно-плазменного перепыления с сохранением исходной проницаемости мембран;
5. Разработаны методы получения одно- и многослойных композиционных нанопокрытий (до 300 нм) в магнетронных распылительных системах (МРС) для экстремальных условий эксплуатации;
6. Разработаны методы математического моделирования и расчетные модели процесса получения наномембран и нанопокрытий для ионно-пучковых и магнетронных систем распыления;
7. Разработаны основы технологических процессов получения наномембран и нанопокрытий методами ионно-плазменного воздействия.