Исследование морфологических и функциональных свойств поверхности каналов микроканальных пластин на наноуровне

Выполнены исследования морфологических и функциональных свойств поверхности каналов микроканальных пластин на наноуровне.
МКП – особо сложные изделия электроники, а их изготовление представляет собой прецизионный процесс. Плотность каналов достигает 106 см-2, их диаметр до 4-5 мкм, толщина стенки между каналами 1-1,5 мкм. Все свойства и параметры МКП определяются степенью совершенства геометрической структуры каналов, чистотой и качеством рабочих поверхностей каналов и торцов, свойствами резистивно-эмиссионного слоя каналов и др. Это определяет актуальность и важность проблемы изучения и улучшения качества поверхностей МКП и стекол для их изготовления, исследования ее морфологии и дефектов. Выявлено влияние термообработки на качество поверхности каналов МКП. Разработана и реализована математическая модель электрического поля в канале МКП и поведения электрона в канале и зазоре МКП-экран. Исследована зависимость электросопротивления нанообъекта (канала) МКП образцов стекол, используемых в производстве МКП. Выявлена зависимость влияния термоводородного восстановления на характеристики поверхности каналов МКП. Выполнены расчеты фактора шума при различных режимах работы и параметров канала МКП, позволяющие уточнить базовую технологию изготовления МКП с низким уровнем шума.
Методом сканирующей зондовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа проведены исследования морфологии, структуры и неоднородностей стекол микроканальных пластин на наноуровне и структурно-фазовых превращений в стеклах и заготовках МКП. Методами рентгеноструктурного анализа изучена термообработка стекла 6Ba4. Выявлено влияние термообработки на качество резистивно-эмиссионного слоя каналов МКП. При рентгеноструктурном анализе стекол С87-2 (6Ba4). Показано, что большинство посторонних частиц и новообразований, которые формируются при контакте стекол с атмосферой или при отжиге, состоят из щелочей, силикатов и карбонатов щелочных металлов и их кристаллогидратов, а также щелочных хроматов и хромитов. Методами сканирующей зондовой микроскопии исследовались 12 образцов дисков стекол С87-2, используемых в МКП. При термоводородном восстановлении образцы № 11 и № 12 являлись контрольными. Выявлены зависимости влияния термоводородного восстановления на характеристики поверхности каналов МКП