Разработка технологии производства наноразмерных ферромагнитных датчиков на основе ультратонких пленок сплавов FM-Pt, Au методом импульсного лазерного испарения

Проведён анализ научно-технической литературы по методам получения тонких плёнок и особенностям метода импульсного лазерного испарения.
Разработана установка импульсного лазерного испарения и проведена её отладка.
Разработаны методы характеризации пленок.
Разработано соглашение с малой инновационной компанией ООО «Страж-Лазер» по освоению создаваемой научно-технической продукции, урегулированию прав на результаты интеллектуальной деятельности и подготовке специалистов для работы в малой инновационной компании ООО «Страж-Лазер»
Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Составлен промежуточный отчёт.

- в результате проведенной работы была выбрана схема получения ультратонких ферромагнитных пленок методом импульсного лазерного осаждения в высоковакуумной камере,

  - отработана методика получения ультратонких ферромагнитных металлических пленок различных составов,

  - разработана методика и собрана схема характеризации магнитных и электрических свойств ультратонки плёнок методом измерения Холловских характеристик пленок при комнатной температуре,

  - изготовлены экспериментальные образцы датчиков Холла из напыляемых пленок шириной около 0,5мм,

  - проведены измерения Холловских характеристик изготовленных образцов,

  - проведена оптимизация состава пленок Fe-Pt исходя из Холловских характеристик,

  - проведена оптимизация состава пленок FeCo-Pt исходя из Холловских характеристик,

  - проведена оптимизация состава пленок Co-Au исходя из Холловских характеристик.

  - исследована зависимость Rh от толщины пленки для пленок Fe-Pt.Обнаружено, что при уменьшении толщины пленки до 1,5-2,0нм экстраординарный коэффициент Холла увеличивается, что приводит к увеличению чувствительности Холловского образца к магнитному полю на два-три порядка. Мы обнаружили появление нового свойства, когда толщина пленки становится равной нескольким нанометрам.

  Чувствительность датчиков, изготовленных из ультратонких ферромагнитных металлических пленок Fe-Pt находится на уровне лучших полупроводниковых датчиков.

Краткое описание выполненных работ:
Проведены исследования по доработке технологии к условиям ООО «Страж-Лазер».
Изготовлены с применением фото- и электронной литографии экспериментальные образцы наноразмерных зондов из пленок оптимизированного состава FM - Pt,Au с пространственным разрешением не хуже 100нм. Измерены их Холловские характеристики.
Разработан план организационно-технических и методических мероприятий по адаптации параметров технологии в ООО «Страж-Лазер».
Проведены маркетинговые исследования.
Разработаны учебные планы и программы подготовки специалистов для работы в ООО «Страж-Лазер» по внедрению передаваемой научно-технической продукции.
Составлен промежуточный отчёт.

Краткое описание выполненных работ:

Разработано технико-экономическое обоснование коммерциализации
передаваемой технологии.
Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Обобщены результаты предыдущих этапов работ. Проведена оценка полноты решения задач и эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.
Выполнен комплекс работ по передаче и внедрению новой технологии в ООО «Страж-Лазер».
Выполнены доводка оборудования и подготовка специалистов по внедрению технологии созданию наноразмерных Холловских зондов в ООО «Страж-Лазер».
Составлен заключительный отчёт о НИР.