Разработка наноструктурированных материалов с использованием многочастотного емкостного разряда с возможностью независимого регулирования энергии и потока ионов

2.1. При выполнении первого были проведены следующие работы: исследова-ния по выбору и обоснованию принятого направления исследований и способов решения поставленных задач; проведена разработка общей методики проведения исследований; проведено математическое моделирование характеристик высоко-частотных разрядов с описанием самосогласованных моделей и физических меха-низмов нелинейного моделирования частот и самоорганизации плазмы; проведен анализ методов получения и моделирование физических свойств создаваемых нано-структурированных материалов; проведено исследование основных физических механизмов нелинейного взаимодействия частот и самоорганизации плазмы и ис-следование процессов возбуждения плазмы многочастотных емкостных и индук-тивно-емкостных разрядов; исследована возможность масштабирования высокочас-тотных плазменных источников по мощности и по площади обрабатываемой по-верхности; проведена разработка блоков и узлов экспериментального реактора, под-готовлена эскизная документация на блоки и узлы экспериментального реактора, проведены патентные исследования;
Разработана общая методика проведения исследований. Были разработаны методы исследования основных физических механизмов нелинейного взаимодейст-вия частот и самоорганизации плазмы и исследование процессов возбуждения плазмы многочастотных емкостных и индуктивно-емкостных разрядов. Были про-ведены испытания макетов узлов разрабатываемого экспериментального реактора на соответствие требованиям технического задания по величине частотного диапа-зона и мощности высокочастотного излучения. Разработанный макет генератора для экспериментального реактора позволяет получить многочастотное излучение мощностью не менее 5.0 кВт в диапазоне не менее 22 % от средней частоты, что со-ответствует требованиям технического задания.

Получены наноструктурированные пленки, в том числе изготовлены экспериментальные образцы наноразмерных слоев диэлектриков с высокими изоляционными свойствами.Разработаны и изготовлены узлы экспериментального плазмохимического реактора для осаждения наноструктурированных пленок, в т.ч. высокочастотный генератор для плазмохимических установок мощностью 1000 Вт и нагреваемый держатель подложек для осаждения наноструктурированных углеродных пленок.

Изготовлен и испытан макет плазмохимического реактора. Проведены исследования экспериментальных образцов наноструктурированных материалов для силовой полупроводниковой техники.Доработана лабораторная технология изготовления наноструктурированных материалов для силовой полупроводниковой техники.