Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка наноструктурированных материалов с использованием многочастотного емкостного разряда с возможностью независимого регулирования энергии и потока ионов

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3396
Организация
ФГУП ВЭИ
Руководитель работ
Коваленко Юрий Алексеевич

Создание наноструктурированных функциональных материалов за счет модификации многочастотным емкостным разрядом.

Участники проекта

Этапы проекта

1
29.08.2008 - 05.12.2008
2.1. При выполнении первого были проведены следующие работы: исследова-ния по выбору и обоснованию принятого направления исследований и способов решения поставленных задач; проведена разработка общей методики проведения исследований; проведено математическое моделирование характеристик высоко-частотных разрядов с описанием самосогласованных моделей и физических меха-низмов нелинейного моделирования частот и самоорганизации плазмы; проведен анализ методов получения и моделирование физических свойств создаваемых нано-структурированных материалов; проведено исследование основных физических механизмов нелинейного взаимодействия частот и самоорганизации плазмы и ис-следование процессов возбуждения плазмы многочастотных емкостных и индук-тивно-емкостных разрядов; исследована возможность масштабирования высокочас-тотных плазменных источников по мощности и по площади обрабатываемой по-верхности; проведена разработка блоков и узлов экспериментального реактора, под-готовлена эскизная документация на блоки и узлы экспериментального реактора, проведены патентные исследования;
Разработана общая методика проведения исследований. Были разработаны методы исследования основных физических механизмов нелинейного взаимодейст-вия частот и самоорганизации плазмы и исследование процессов возбуждения плазмы многочастотных емкостных и индуктивно-емкостных разрядов. Были про-ведены испытания макетов узлов разрабатываемого экспериментального реактора на соответствие требованиям технического задания по величине частотного диапа-зона и мощности высокочастотного излучения. Разработанный макет генератора для экспериментального реактора позволяет получить многочастотное излучение мощностью не менее 5.0 кВт в диапазоне не менее 22 % от средней частоты, что со-ответствует требованиям технического задания.
Развернуть
2
01.01.2009 - 31.05.2009
Получены наноструктурированные пленки, в том числе изготовлены экспериментальные образцы наноразмерных слоев диэлектриков с высокими изоляционными свойствами.Разработаны и изготовлены узлы экспериментального плазмохимического реактора для осаждения наноструктурированных пленок, в т.ч. высокочастотный генератор для плазмохимических установок мощностью 1000 Вт и нагреваемый держатель подложек для осаждения наноструктурированных углеродных пленок.
Развернуть
3
01.06.2009 - 31.10.2009
Изготовлен и испытан макет плазмохимического реактора. Проведены исследования экспериментальных образцов наноструктурированных материалов для силовой полупроводниковой техники.Доработана лабораторная технология изготовления наноструктурированных материалов для силовой полупроводниковой техники.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2012, 1 мес.
Бюджетные средства
1,4 млн
Организация
ФГБОУ ВО "КНИТУ"
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2012, 15 мес.
Бюджетные средства
13 млн
профинансировано
Продолжительность работ
2010 - 2012, 30 мес.
Бюджетные средства
2,4 млн
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
профинансировано
Продолжительность работ
2010 - 2012, 30 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
профинансировано
Тема
Разработка наноструктурированных материалов с использованием многочастотного емкостного разряда с возможностью независимого регулирования энергии и потока ионов.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
15 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование несамостоятельного тлеющего разряда с импульсной емкостной предионизацией в быстром потоке газа с целью получения мощного высококачественного лазерного излучения на установке: "Комплекс научных установок для исследования механики лазерных разрядов "Лантан" (ЛАНТАН) (рег. № 01-52)"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
1 млн
Количество заявок
1
Тема
«Разработка метода получения и модификации наночастиц при помощи электрических разрядов в потоках жидкости».
Продолжительность работ
2011 - 2012, 19 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка новых элементов энергоэффективного электротехнического оборудования на основе исследования физики генерации высокоинтенсивных моноэнергетических пучков ионов в разрядах в скрещенных электрическом и магнитном полях
Продолжительность работ
2007 - 2008, 15 мес.
Бюджетные средства
24 млн
Количество заявок
2
Тема
Наноструктурированные функциональные полимерные системы.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
2