Прислать материал
Разработка методов формирования интегральных структур на основе нанотрубочного материала для задач сенсорной техники, электроники и зондовой микроскопии
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3415
Организация
ООО НПП "Центр перспективных технологий"
Руководитель работ
Яминский Игорь Владимирович
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Конкурс
Разработка методов формирования интегральных структур на основе нанотрубочного материала для задач сенсорной техники, электроники и зондовой микроскопии.
Получение новых методов улучшения функциональных характеристик чувствительных элементов сенсорных структур за счет введения углеродных наноматериалов и их производных.
Этапы проекта
1
10.10.2008 - 15.11.2008
1. Разработана лабораторная технологическая инструкция интегрального формирования сенсорных структур на основе углеродных нанотрубок для регистрации низких концентраций токсичных газов (аммиак, диоксид азота, диоксид углерода).
2. Разработана лабораторная технологическая инструкция формирования элементов электроники.
3. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы углеродных нанотрубок.
4. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы сенсорных и калибровочных структур, игл для зондовой микроскопии, элементов с нелинейными вольтамперными характеристиками на основе углеродных нанотрубок.
5. Разработана эскизная конструкторская документация на изготовление стенда для определения низких концентраций токсичных газов.
6. Изготовлен макет стенд для определения низких концентраций токсичных газов.
7. Разработана эскизная конструкторская документация на изготовление макета сенсорных устройств.
8. Изготовлен макет сенсорных устройств.
9. Разработаны методики контролируемого позиционирования углеродных нанотрубок в области электрических контактов: (1) передвижение углеродных нанотрубок вдоль поверхности подложки иглой зондового микроскопа, (2) нанесение нанотрубок на иглу зондового микроскопа и перенесение их в область контактов при подводе иглы к поверхности.
10. Проведены исследования сенсорных устройств, с целью регистрации присутствия аммиака, диоксида азота и диоксида углерода.
11. Разработаны методы:
- улучшения функциональных характеристик чувствительных элементов сенсорных структур за счет введения углеродных наноматериалов и их производных;
- формирования элементов электроники, калибровочных структур и игл для зондовой микроскопии с улучшенными характеристиками на основе углеродных нанотрубок (УНТ).
12. Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96.
13. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
14. Разработан проекта ТЗ на выполнение ОКР.
2. Разработана лабораторная технологическая инструкция формирования элементов электроники.
3. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы углеродных нанотрубок.
4. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы сенсорных и калибровочных структур, игл для зондовой микроскопии, элементов с нелинейными вольтамперными характеристиками на основе углеродных нанотрубок.
5. Разработана эскизная конструкторская документация на изготовление стенда для определения низких концентраций токсичных газов.
6. Изготовлен макет стенд для определения низких концентраций токсичных газов.
7. Разработана эскизная конструкторская документация на изготовление макета сенсорных устройств.
8. Изготовлен макет сенсорных устройств.
9. Разработаны методики контролируемого позиционирования углеродных нанотрубок в области электрических контактов: (1) передвижение углеродных нанотрубок вдоль поверхности подложки иглой зондового микроскопа, (2) нанесение нанотрубок на иглу зондового микроскопа и перенесение их в область контактов при подводе иглы к поверхности.
10. Проведены исследования сенсорных устройств, с целью регистрации присутствия аммиака, диоксида азота и диоксида углерода.
11. Разработаны методы:
- улучшения функциональных характеристик чувствительных элементов сенсорных структур за счет введения углеродных наноматериалов и их производных;
- формирования элементов электроники, калибровочных структур и игл для зондовой микроскопии с улучшенными характеристиками на основе углеродных нанотрубок (УНТ).
12. Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96.
13. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
14. Разработан проекта ТЗ на выполнение ОКР.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Изучение технологий формирования и методик исследования наноструктур и наноматериалов с использованием нанотехнологического оборудования Научно-образовательного центра «Нанотехнологии» Южного федерального университета: 1. Изучение методик исследования микро- и наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии в условиях сверхвысокого вакуума на нанотехнологическом комплексе НАНОФАБ НТК-9 2. Изучение методик исследования микроструктур чувствительных элементов систем технического зрения методами сканирующей зондовой микроскопии 3. Изучение технологии формирования структур оптоэлектроники методами фокусированных ионных пучков на РЭМ Nova Nanolab 600 4. Изучение технологии получения наноструктурированных пленок VOx для чувствительных элементов сенсоров ИК-диапазона на нанотехнологическом комплексе НАНОФАБ НТК-9 5. Изучение технологии получения оксидных пленок методом импульсного лазерного осаждения на нанотехнологическом комплексе НАНОФАБ НТК-9 6. Разработка и использование лазерных технологий в производстве энергосберегающих стекол 7. Лазерные технологии в производстве изделий микро- и наноэлектроники 8. Разработка и исследование солнечных элементов на основе лазерных технологий 9. Разработка и исследование интегральных элементов на основе туннельно-связанных наногетероструктур 10. Разработка и исследование элементов микро- и наносистем регистрации параметров движения объектов
Продолжительность работ
2010, 2 мес.
Бюджетные средства
1,85 млн
Организация
Южный федеральный университет
профинансировано
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области естественных наук: 1. Теория и практика образования и эволюции нанокомпозитов с иерархической структурой пор в золь-гель процессах; 2. Сканирующая зондовая микроскопия материалов и элементов микро- и наноэлектроники. Новые аналитические возможности; 3. Материаловедение и диагностика элементов альтернативной энергетики; 4. Анализ структуры пористых материалов и релаксационных явлений в них; 5. Исследование наноструктурированных континуальных систем сегнетоэлектрик-полупроводник (диэлектрик) для нового поколения устройств функциональной электроники; 6. Исследование нелинейных свойств сегнетоэлектрических пленок в СВЧ диапазоне с целью создания формирователей ультракоротких импульсов; 7. Диагностика энергетического спектра светодиодных гетероструктур на основе множественных квантовых ям InGaN/GaN методами адмиттансной спектроскопии; 8. Моделирование и подгонка экспериментальных вольт-фарадных характеристик гетероструктур с квантовыми ямами; 9. Политипизм и пути оптимизации дефектной структуры слитков карбида кремния; 10. Исследование процессов синтеза естественных сверхрешеток
профинансировано
«Твердотельные полупроводниковые структуры на основе наноматериалов для оптоэлектронных и сенсорных устройств»
профинансировано
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области технических наук: 1. Исследование радиационных свойств МОП транзисторов на структурах КНС и КНИ методами приборно-технологического моделирования; 2. Разработка структур на основе углеродных нанотрубок и исследование влияния условий окружающей среды на их электрофизические свойства; 3. Исследование процесса формирования матрицы пористого анодного оксида алюминия; 4. Методы исследования нанотубулярных структур; 5. Получение углеродных нанотруб для создания изделий наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок; 6. Получение углеродных нанотруб с помощью установки CVDomna; 7. Использование приборно-технологического САПР для моделирования радиационных свойств элементов СВЧ ИС на КНД структурах; 8. Разработка методов сканирующей зондовой микроскопии высокого разрешения углеродных наноструктур; 9. Разработка методов сканирующей зондовой микроскопии в исследовании и создании структур на основе углеродных нанотрубок; 10. Разработка физико-технических основ формирования планарных элементов наноэлектроники в тонких проводящих пленках
профинансировано
Разработка научно-технических основ создания функциональных кантилеверов для исследования магнитных наноматериалов методами сканирующей зондовой микроскопии
профинансировано