Прислать материал
Развитие методов плазменного травления для формирования наноразмерного рельефа
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3416
Организация
ООО "ЛМП"
Руководитель работ
Голишников Александр Анатольевич
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Конкурс
Развитие методов плазменного травления для формирования наноразмерного рельефа.
Получение новых научных знаний о процессах плазменного травления при формировании наноразмерного рельефа в функциональных слоях наноэлектронных систем.
Этапы проекта
1
06.10.2008 - 01.12.2008
1. Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме.
2. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
3. Разработана физико-химическая модель, описывающая взаимосвязь между технологическими параметрами и операционными характеристиками процесса плазменного травления кремнийсодержащих материалов.
4. Проведены исследования зависимостей между различными механизмами плазменного травления и в различных плазменных источниках на морфологию поверхности формируемых элементов наноструктур и, соответственно, на их электрофизические характеристики.
5. Разработана лабораторная технологическая инструкция плазменного нанопрофилирования поверхности кремнийсодержащих материалов.
6. Разработана эскизная конструкторская документация на макет лабораторного плазменного реактора.
7. Создан макет лабораторного реактора высокоплотной плазмы.
8. Проведены испытания макета лабораторного реактора высокоплотной плазмы.
9. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов
10. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
2. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
3. Разработана физико-химическая модель, описывающая взаимосвязь между технологическими параметрами и операционными характеристиками процесса плазменного травления кремнийсодержащих материалов.
4. Проведены исследования зависимостей между различными механизмами плазменного травления и в различных плазменных источниках на морфологию поверхности формируемых элементов наноструктур и, соответственно, на их электрофизические характеристики.
5. Разработана лабораторная технологическая инструкция плазменного нанопрофилирования поверхности кремнийсодержащих материалов.
6. Разработана эскизная конструкторская документация на макет лабораторного плазменного реактора.
7. Создан макет лабораторного реактора высокоплотной плазмы.
8. Проведены испытания макета лабораторного реактора высокоплотной плазмы.
9. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов
10. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
профинансировано
Создание функционирующего в режиме удалённого доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по сверхпрецизионному наноразмерному травлению, нанесению и модифицированию материалов с использованием остросфокусированных ионных пучков и виртуальных симуляторов указанных процессов.
профинансировано
Разработка технологии и технологического оборудования, обеспечивающих производство энергоэффективных насосов с улучшенными эксплуатационными качествами для топливно-энергетического комплекса за счет литографической модификации рельефа их функциональных поверхностей.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
100 млн
Организация
ЗАО "ОПТИМА"
профинансировано
Разработка энергоэффективных функциональных блоков для наноэлектронных устройств и систем с автономным питанием
профинансировано
Нестационарные процессы в плазменных структурах короны Солнца
Продолжительность работ
2012 - 2013, 14 мес.
Бюджетные средства
2,93 млн
Организация
ГАО РАН
профинансировано