Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка методов создания нанопроволочных систем на основе структур кремния на изоляторе для нового поколения высокочувствительных биосенсоров

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3489
Продолжительность работ
2009 - 2010, 11 мес.
Бюджетные средства
14 млн
Внебюджетные средства
1,4 млн

Разработка наноструктурированных слоев кремния на изоляторе (КНИ), изготовление и исследование свойств КНИ-нанопроволочных транзисторов для их применения в качестве сенсорных элементов электронных биодетекторов.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Рыбачек Елена Николаевна

Этапы проекта

1
16.10.2009 - 10.12.2009
Разработан эскизный технологический маршрут изготовления нанопроволочных транзисторов. Разработан метод формирования наноструктуированых слоев кремния на изоляторе с нанометровыми слоями полупроводника и диэлектрика, оптимизированный для создания высокочувствительных сенсорных элементов электронных детекторов. Разработана методика определения основных параметров нанопроволочных структур, характеризующих их чувствительность.
Развернуть
2
01.01.2010 - 10.07.2010
Разработан технологический маршрут изготовления, проведена экспериментальная отработка технологического маршрута. Разработана методика подготовки поверхности КНИ-нанопроволочных транзисторов для повышения их стабильности. Изготовлены и исследованы макетные образцы КНИ-нанопроволочных транзисторов.
Развернуть
3
11.07.2010 - 21.09.2010
Изготовлены и исследованы лабораторные образцы одномерных структур на основе наноструктурированных слоев кремния на изоляторе.
Изготовлены и исследованы лабораторные образцы чипов с КНИ-нанопроволочными транзисторами. Проведен анализ полученных результатов. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Организация
ИФП СО РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2010 - 2012, 27 мес.
Бюджетные средства
1,7 млн
Организация
МИЭТ
профинансировано
Тема
Разработка методов создания нанопроволочных систем на основе структур кремния на изоляторе для нового поколения высокочувствительных биосенсоров.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 12 мес.
Бюджетные средства
15 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка конструктивно-технологических решений в области высокотемпературной микроэлектроники на структурах кремний на изоляторе
Продолжительность работ
2014 - 2016, 25 мес.
Бюджетные средства
44,1 млн
Количество заявок
3
Тема
Исследование перспективных типов сверхвысокочастотных приборов и структур, разработка технологических принципов их изготовления (высокоскоростной цифровой изолятор с гальванической развязкой для диапазона частот от 300 до 500 МГц).
Продолжительность работ
2013 - 2015, 25 мес.
Бюджетные средства
13,5 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка технологии нанополировки подложек оксида алюминия и карбида кремния для изготовления мощных электронных и оптоэлектронных приборов на нитридах алюминия и галлия.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка микротопливных элементов на основе пористого кремния и наноструктурированных материалов с использованием оригинальных отечественных нанотехнологий и промышленных технологий микроэлектроники
Продолжительность работ
2007 - 2008, 11 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
1