Разработка физических основ новых эффективных безмасочных методов наноструктурирования поверхности сверхтвердых керамик и алмазных пленок при помощи облучения наносекундным F2-лазером

1) Экспериментально показаны возможности и определены условия лазерного наноструктурирования поверхности таких сверхтвердых тугоплавких технологических материалов, как керамика нитрида кремния и алмазные пленки при облучении одним пучком наносекундного F2-лазера с длиной волны излучения 157 нм.

2) Разработаны теоретические модели лазерно-индуцированного развития поверхностных нанорельефов, выявлены его механизмы и закономерности.

3) Разработан и исследован полностью твердотельный мощный компактный генератор накачки F2-лазера, эффективный для выполнения лазерного наноструктурирования.

4) Опубликовано пять статей в рецензируемых научных журналах.

5) Подготовлен отчет о НИР, где представлены полученные результаты.

Указанные характеристики полученных результатов полностью соответствуют требованиям технического задания.