Прислать материал
Создание адаптивных микроприводов на базе материалов с эффектом памяти формы для изготовления зондов сканирующих зондовых микроскопов
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.12.3026
Организация
ЦНИИ РТК
Руководитель работ
Кириченко Виктор Валерьевич
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Внебюджетные средства
5 млн
Конкурс
Создание адаптивных микроприводов на базе материалов с эффектом памяти формы для изготовления зондов сканирующих зондовых микроскопов.
Проведение комплексных исследований фазовых мартенситных превращений в тонких пленках материалов с эффектом памяти формы в микро- и наноструктурах с целью создания адаптивных зондовых датчиков для силовой сканирующей зондовой микроскопии. Наряду с натурными экспериментами создание математической модели термомеханического поведения двухслойных структур позволит освоить технологии получения пленок из материалов с эффектом памяти формы на кремниевой основе.
Участники проекта
Зам. руководителя работ
Прядко Алексей Иванович
Этапы проекта
1
25.08.2008 - 10.12.2008
Краткое описание выполненных работ:
? проведены патентные исследования в области тонкопленочных технологий микроприводов по ГОСТ 15.011-96;
? создана математическая модель термомеханического поведения двухслойных структур и проведены расчетные оценки деформационной способности балочных микроприводов на базе тонких пленок (МТП) из материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ) на кремниевых подложках;
? выполнен выбор материала с ЭПФ для нанесения тонких пленок на кремниевых подложках;
? разработаны методики проведения исследований проявления ЭПФ в тонких пленках и определения характеристических температур прямого и обратного мартенситных превращений;
? разработана лабораторная технология создания тонких пленок на кремниевой подложке;
разработана лабораторная технология получения балочных МТП;
? проведены патентные исследования в области тонкопленочных технологий микроприводов по ГОСТ 15.011-96;
? создана математическая модель термомеханического поведения двухслойных структур и проведены расчетные оценки деформационной способности балочных микроприводов на базе тонких пленок (МТП) из материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ) на кремниевых подложках;
? выполнен выбор материала с ЭПФ для нанесения тонких пленок на кремниевых подложках;
? разработаны методики проведения исследований проявления ЭПФ в тонких пленках и определения характеристических температур прямого и обратного мартенситных превращений;
? разработана лабораторная технология создания тонких пленок на кремниевой подложке;
разработана лабораторная технология получения балочных МТП;
2
01.01.2009 - 30.06.2009
Изготовлены макетные образцы балочных микроприводов; проведены исследования термомеханических характеристик тонких пленок на кремниевой подложке, выполнен анализ полученных результатов; проведены исследования макетных образцов микроприводов и выполнен анализ полученных результатов.
3
01.07.2009 - 31.10.2009
Изготовлены макетные образцы балочных микроприводов. Изготовлены макетные образцы адаптивных зондов и разработаны технические требования к ним для силовых сканирующих микроскопов с расширенными функциональными возможностями по измерению микропрофилей.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Исследование мемристивного эффекта в пленках диоксида ванадия методами сканирующей зондовой микроскопии
Продолжительность работ
2012 - 2013, 12 мес.
Бюджетные средства
0,63 млн
профинансировано
Разработка новых материалов для микро- и оптоэлектроники и методов диагностики их функциональных свойств: 1. Формирование наноструктур ультра высокого разрешения методами электронной и ионно-лучевой литографии 2. Исследование процесса рекристаллизации фазы перовскита в тонких сегнетоэлектрических пленках цирконата-титаната свинца, выращенных ex-situ методом 3 Исследование формирования пьезоэлектрических структур на основе нитевидных нанокристаллов ZnO 4. Изучение процесса отжига пленок висмута методами атомно-силовой и электронной микроскопии 5 Исследование толщинных зависимостей параметров нелинейно-оптического отклика в наноразмерных пленках титаната бария-стронция в электрических полях 6 Исследование топологии импульсных процессов переключения в нанодоменном сегнетоэлектрике-релаксоре SBN с фоторефрактивными примесями 7 Создание регулярных микродоменных структур в кристаллах ниобата бария-стронция методом сканирующей зондовой микроскопии и их тестирование методами нелинейной оптики 8 Разработка технологии изготовления и исследование наноструктур методом электронной микроскопии 9 Электрофизические и оптические свойства полярных сополимеров VDF/Tr VDF/Te и нанокомпозитов на их основе 10 Экспериментальное исследование генерации и детектирования терагерцового излучения с использованием кристаллов PPLN
профинансировано
Обеспечение комплексных исследований наноматериалов и наноструктур для создания элементов фазовой памяти и светоизлучающих систем Региональным центром зондовой микроскопии коллективного пользования научным оборудованием Рязанского государственного радиотехнического университета в рамках приоритетных направлений развития науки, технологии и техники в Российской Федерации
Продолжительность работ
2012 - 2013, 12 мес.
Бюджетные средства
30,12 млн
Организация
ФГБОУ ВО "РГРТУ", РГРТУ
профинансировано
Разработка алгоритмов цифрового управления для сканирующих зондовых микроскопов
профинансировано
Исследование электрофизических свойств тонких высокоомных пленок состава (SiC)1-x(AIN)х методами сканирующей зондовой микроскопии
профинансировано