Создание адаптивных микроприводов на базе материалов с эффектом памяти формы для изготовления зондов сканирующих зондовых микроскопов

Краткое описание выполненных работ:
? проведены патентные исследования в области тонкопленочных технологий микроприводов по ГОСТ 15.011-96;
? создана математическая модель термомеханического поведения двухслойных структур и проведены расчетные оценки деформационной способности балочных микроприводов на базе тонких пленок (МТП) из материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ) на кремниевых подложках;
? выполнен выбор материала с ЭПФ для нанесения тонких пленок на кремниевых подложках;
? разработаны методики проведения исследований проявления ЭПФ в тонких пленках и определения характеристических температур прямого и обратного мартенситных превращений;
? разработана лабораторная технология создания тонких пленок на кремниевой подложке;
разработана лабораторная технология получения балочных МТП;

Изготовлены макетные образцы балочных микроприводов; проведены исследования термомеханических характеристик тонких пленок на кремниевой подложке, выполнен анализ полученных результатов; проведены исследования макетных образцов микроприводов и выполнен анализ полученных результатов.

Изготовлены макетные образцы балочных микроприводов. Изготовлены макетные образцы адаптивных зондов и разработаны технические требования к ним для силовых сканирующих микроскопов с расширенными функциональными возможностями по измерению микропрофилей.