Исследование и разработка принципов построения и схемотехники оптико-электронного голографического нанолитографа
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.12.3045
Организация
ООО "ГОЛОГРАФИЯ-Сервис"
Руководитель работ
Одиноков Сергей Борисович
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,45 млн
Внебюджетные средства
0 млн
Разработка, изготовление и исследование макетного образца оптико-электронного голографического нанолитографа с фотополимерным голограммным компонентом (ФГП) в качестве формирователя микро-наноизображений. Разработка, изготовление и исследование макетных образцов прецизионных фотошаблонов, дифракционных оптических элементов (ДОЭ) и голограммных оптических элементов (ГОЭ).
Участники проекта
Зам. руководителя работ
Сагателян Гайк Рафаэлович
Этапы проекта
1
06.10.2008 - 01.12.2008
Проведен анализ научно-технической литературы относящейся к разрабатываемой теме.
Разработаны принципы построения, структурно-функциональные и принципиальные схемы высокопроизводительного оптико-электронного голографического нанолитографа на основе микро- и нанооптоэлектронных элементов и фотополимерных наноматериалов.
Разработана принципиальная оптическая схема и рассчитана специализированная оптическая система на основе проекционного объектива для схем записи-восстановления фотополимерного голограммного компонента-пластины (ФГП).
Разработана технология изготовления фотополимерного голограммного компонента-пластины.
Разработан метод изготовления экспериментальных образцов фотошаблонов (ФШ), дифракционных оптических эле¬ментов (ДОЭ) и голограммных оптических элементов (ГОЭ).
Изготов¬лен фотополимерный голограммный компонент-пластина для оптико-электронного голографического нанолитографа.
Разработан, собран и исследован макет высокопроизводительного оптико-электронного голографического нанолитографа на основе микро- и нанооптоэлектронных элементов и фотополимерных наноматериалов с ФГП.
Изготовлены и исследованы экспериментальные образцы ФШ, ДОЭ и ГОЭ.
Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Разработаны принципы построения, структурно-функциональные и принципиальные схемы высокопроизводительного оптико-электронного голографического нанолитографа на основе микро- и нанооптоэлектронных элементов и фотополимерных наноматериалов.
Разработана принципиальная оптическая схема и рассчитана специализированная оптическая система на основе проекционного объектива для схем записи-восстановления фотополимерного голограммного компонента-пластины (ФГП).
Разработана технология изготовления фотополимерного голограммного компонента-пластины.
Разработан метод изготовления экспериментальных образцов фотошаблонов (ФШ), дифракционных оптических эле¬ментов (ДОЭ) и голограммных оптических элементов (ГОЭ).
Изготов¬лен фотополимерный голограммный компонент-пластина для оптико-электронного голографического нанолитографа.
Разработан, собран и исследован макет высокопроизводительного оптико-электронного голографического нанолитографа на основе микро- и нанооптоэлектронных элементов и фотополимерных наноматериалов с ФГП.
Изготовлены и исследованы экспериментальные образцы ФШ, ДОЭ и ГОЭ.
Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
профинансировано
профинансировано
профинансировано
профинансировано
Продолжительность работ
2012 - 2013, 13 мес.
Бюджетные средства
0,59 млн
профинансировано