Исследование и разработка принципов построения и схемотехники оптико-электронного голографического нанолитографа

Стадии проекта

Предложение принято

Конкурс завершен

Проект закончен

Проект

02.513.12.3045

Организация

ООО "ГОЛОГРАФИЯ-Сервис"

Руководитель работ

Одиноков Сергей Борисович

Продолжительность работ

2008, 2 мес.

Бюджетные средства

2,45 млн

Внебюджетные средства

0 млн

Конкурс

Исследование и разработка принципов построения и схемотехники оптико-электронного голографического нанолитографа.

Разработка, изготовление и исследование макетного образца оптико-электронного голографического нанолитографа с фотополимерным голограммным компонентом (ФГП) в качестве формирователя микро-наноизображений. Разработка, изготовление и исследование макетных образцов прецизионных фотошаблонов, дифракционных оптических элементов (ДОЭ) и голограммных оптических элементов (ГОЭ).

Участники проекта

Зам. руководителя работ

Сагателян Гайк Рафаэлович

Этапы проекта

06.10.2008 - 01.12.2008

Проведен анализ научно-технической литературы относящейся к разрабатываемой теме.
Разработаны принципы построения, структурно-функциональные и принципиальные схемы высокопроизводительного оптико-электронного голографического нанолитографа на основе микро- и нанооптоэлектронных элементов и фотополимерных наноматериалов.
Разработана принципиальная оптическая схема и рассчитана специализированная оптическая система на основе проекционного объектива для схем записи-восстановления фотополимерного голограммного компонента-пластины (ФГП).
Разработана технология изготовления фотополимерного голограммного компонента-пластины.
Разработан метод изготовления экспериментальных образцов фотошаблонов (ФШ), дифракционных оптических эле¬ментов (ДОЭ) и голограммных оптических элементов (ГОЭ).
Изготов¬лен фотополимерный голограммный компонент-пластина для оптико-электронного голографического нанолитографа.
Разработан, собран и исследован макет высокопроизводительного оптико-электронного голографического нанолитографа на основе микро- и нанооптоэлектронных элементов и фотополимерных наноматериалов с ФГП.
Изготовлены и исследованы экспериментальные образцы ФШ, ДОЭ и ГОЭ.
Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем

Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области естественных наук: 1. Разработка методов контроля геометрических параметров голограммных и дифракционных оптических элементов методом зондовой микроскопии; 2. Контактная нанолитография методом атомно-силовой микроскопии; 3. Исследование метода получения голограммных и дифракционных оптических элементов по технологии DOT-MATRIX; 4. Исследование свойств сложных структур при многократной записи голографических решеток на фотополимерной среде; 5. Разработка оптической системы сверхвысокого разрешения для получения голограммных и дифракционных оптических элементов с использованием ЖК ПМС; 6. Автоматическая идентификация защитных голограмм со скрытым кодированным изображением; 7. Разработка и исследование оптико-электронного устройства считывания скрытых магнитных носителей записи; 8. Разработка технологического процесса изготовления ДОЭ-ГОЭ с применением операций плазмохимического травления; 9. Технология получения голограммных оптических элементов методами цифровой голографии; 10. Исследование возможностей цифровой голограммы формировать цветное объемное изображение в условиях искусственного освещения

Продолжительность работ

2009, 3 мес.

Бюджетные средства

3 млн

Организация

МГТУ им. Н.Э.Баумана

профинансировано

Современные тенденции развития лазерной техники и голографических технологий в оптико-электронным приборостроении 1. Исследование применения голограммных оптических элементов для приборов ночного видения; 2. Технологии электронно-литографической записи и исследования микрорельефов дифракционных и голографических оптических элементов; 3. Технологии ионно-плазменного формирования микрорельефа дифракционных и голографических оптических элементов; 4. Анализ и исследование оптических схем регистрации микроголограмм страничной голографической памяти; 5. Исследование метода получения защитных голограмм по технологии Dot-matrix; 6. Исследование модуляционной характеристики ЖК-ПМС для систем голографической памяти; 7. Исследование и измерение пороговой мощности измерителя мощности лазерного излучения в миливатном диапазоне; 8. Исследование погрешностей установки голограммного оптического элемента на угловой уход прицельного знака в голографическом коллиматорном прицеле; 9. Исследование поверхностного микрорельефа го

Продолжительность работ

2010, 3 мес.

Бюджетные средства

2 млн

Организация

МГТУ им. Н.Э.Баумана

профинансировано

Исследование принципов и разработка технологий для создания установок передовой оптико-электронной голографической нанолитографии»

Продолжительность работ

2013, 5 мес.

Бюджетные средства

6 млн

Организация

МГТУ им. Н.Э.Баумана

профинансировано

Исследование параметров и характеристик оптико-голографических систем, построенных на основе тонких голограммных и дифракционных оптических элементов и трехмерных голограмм 1. Диагностика процессов плазменного травления оптических материалов. 2. Оптимизация режимов технологических процессов плазмохимического травления оптических материалов. 3. Получение топограммы трехмерного поверхностного микрорельефа ГОЭ-ДОЭ методом оптической микроскопии. 4. Исследование метода получения голограммных и дифракционных элементов по технологии DOT-MATRIX. 5. Исследование геометрических параметров микрозеркальных структур типа MOEMS лазерно-оптическими методами. 6. Исследование процесса голографической записи на двуxслойные магнитные структуры и магнитооптическая визуализация данных структур. 7. Измерение параметров модуляционной характеристики ЖК-модулятора света, используемого в системах голографической памяти. 8. Исследование дифракционной эффективности защитных голограмм, полученных на различных полимерных материа

Продолжительность работ

2011, 5 мес.

Бюджетные средства

2,1 млн

Организация

МГТУ им. Н.Э.Баумана

профинансировано

Разработка методов получения и исследование параметров голограммных оптических элементов с наноструктурированным поверхностным рельефом для оптико-электронных приборов и систем

Продолжительность работ

2012 - 2013, 13 мес.

Бюджетные средства

0,59 млн

профинансировано