Исследование процессов дефектообразования в бездислокационных монокристаллах и пластинах кремния большого диаметра при термических и механических воздействиях с использованием УСУ «Сверхчистый кремний»

Изучено влияние геометрии и характера расположения опор на напряженное состояние пластин кремния большого диаметра и вероятность пластической деформации при термообработке. Выполнен трехмерный расчет напряженного состояния в пластинах кремния при использовании точечных и кольцевых опор. Исследовано влияние режимов термообработки на прочностные характеристики пластин.

Проведено исследование особенностей диффузии азота в кремнии. Определены формы нахождения атомов азота в кремнии. Проведено исследование свойств ростовых микродефектов в легированных азотом кристаллах. Построены эталонные кривые, связывающие концентрацию комплекса азот-кислород с полной концентрацией азота в кристалле. Полученные результаты сопоставлены с данными инфракрасной спектроскопии. Выбран оптимальный интервал температур образования комплекса азот-кислород для определения полной концентрации азота в кремнии.

Заключён и оплачен контракт на поставку лабораторного оборудования Подана заявка на изобретение. Исследованы особенности генерации и движения дислокаций в выращенных методом Чохральского легированных азотом бездислокационных монокристаллах кремния в постростовом состоянии. Изучены особенности дефектообразования в легированных азотом бездислокационных пластинах кремния при многоступенчатых термообработках, используемых для создания в пластинах внутреннего геттера. Установлены природа и значения плотности образующихся микродефектов. Предложена новая методика определения концентрации азота в монокристаллах кремния, основанная на измерении концентрации сверхмелких азотсодержащих ловушек для электронов с помощью исследования эффекта Холла при гелиевых температурах.

Установлены закономерности взаимодействия атомов азота с вакансиями в бездислокационных монокристаллах кремния, полученных методами бестигельной зонной плавки и Чохральского. Выяснено влияния легирования азотом на образование микропор в кристаллах. Изучены особенности диффузии азота в бездислокационных монокристаллах. Получено лабораторное оборудование. Получено положительное решение на выдачу патента.