Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование обусловленных кислородом наноразмерных структурных превращений в бездислокационных микрокристаллах кремния и их влияние на свойства кристаллов с использованием УСУ «Стенд для получения и испытания бездислокационного кремния» (УСУ «Сверхчистый кремний»)»

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.518.11.7121
Организация
АО "Гиредмет"
Продолжительность работ
2009 - 2010, 17 мес.
Бюджетные средства
5 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Проведение исследований в области: новых перспективных материалов, нанотехнологий с использованием методов активного физического воздействия (радиация, плазма, СВЧ-излучение, ультразвук и др.).
Проведение исследований и обеспечение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ, проводимых организациями Российской Федерации, с предоставлением возможности использования методов научных исследований, разработанных или освоенных для уникальной установки, стенда (УСУ).
Развитие материально-технической базы УСУ путем дооснащения имеющихся специализированных комплексов (лабораторий), приобретаемым научным оборудованием для обеспечения и развития исследований в форме коллективного пользования.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Меженный Михаил Валерьевич

Этапы проекта

1
08.06.2009 - 30.09.2009
Проведено исследование закономерностей образования кислородных термодоноров в бездислокационных пластинах кремния при их отжиге в интервале температур 400-500С. Разработана методика расчёта энергетического положения и концентрации уровней в запрещенной зоне кремния (не менее 5 центров) на основе экспериментальных кривых температурной зависимости эффекта Холла и удельного сопротивления.
Развернуть
2
01.10.2009 - 07.12.2009
Создана модель сопряжённого трёхмерного математического моделирования тепловых процессов в рабочей камере ростовой установки.Созданы новые сопряжённые и трёхмерные математические модели и итерационные решения «сильно» нелинейной и нестационарной задачи для конвекции в расплаве в непрерывном (нестационарном) приближении к процессу транспорта кислорода.Исследованы особенности транспорта кислорода в расплаве от стенок кварцевого тигля к фронту кристаллизации при выращивании монокристаллов кремния большого диаметра методом Чохральского.
Развернуть
3
01.01.2010 - 31.05.2010
Проведены многоступенчатые термообработки пластин в различных режимах, в том числе с использованием на начальном этапе быстрого термического отжига, с вариацией длительности заключительной «ростовой» стадии отжига при температуре 950-1000 С.
Выполнен теоретический анализ энергетических характеристик и кинетики структурных превращений кислород-содержащих нанопреципитатов в термообработанных пластинах.
Развернуть
4
01.06.2010 - 30.11.2010
Изучено влияние наноразмерных структурных превращений на ранних стадиях распада пересыщенного твёрдого раствора кислорода на прочностные характеристики кремниевых пластин.
Изучены зависимости критических напряжений образования дислокаций от структурных особенностей термообрабатываемых в различных условиях кремниевых пластин.
Изучены зависимости кинетических характеристик дислокаций от структурных особенностей термообрабатываемых в различных условиях кремниевых пластин.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.8 Проведение исследований с использованием уникальных стендов и установок, а также уникальных объектов научной инфраструктуры (включая обсерватории, ботанические сады, научные музеи и др.), научных организаций и образовательных учреждений высшего профессионального образования
Тема
Проведение исследований состава, структуры и свойств веществ и перспективных материалов с использованием уникальных установок.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 17 мес.
Бюджетные средства
106,26 млн
Количество заявок
45
Тема
Проведение исследований физических и химических процессов с использованием уникальных стендов и установок в области энергетики и энергосбережения.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 17 мес.
Бюджетные средства
85,8 млн
Количество заявок
21
Тема
Исследование электрофизических и излучательных характеристик мегаамперных разрядов в газах высокой плотности с использованием уникальных стендов и установок.
Продолжительность работ
2008, 5 мес.
Бюджетные средства
4,49 млн
Количество заявок
1
Тема
Проведение исследований с использованием высокоэнергетических уникальных установок и комплексов.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 17 мес.
Бюджетные средства
55,8 млн
Количество заявок
13
Тема
Проведение исследований в области рационального природопользования с использованием уникальных установок.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 17 мес.
Бюджетные средства
106 млн
Количество заявок
45