Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка комплексно оснащённых, компактных нанотехнологических лабораторий, предназначенных для создания широкого класса полупроводниковых приборов, в том числе для разработки опытно-промышленной технологии производства наногетероструктур для широкоформатных QWIP-матриц тепловых сенсоров

Обеспечение выполнения российскими научно-образовательными и исследовательскими центрами широкого класса задач в области создания перспективных гетероструктурных полупроводниковых приборов, включая наносенсоры, на основе разработки современных нанолабораторий, комплексно оснащенных технологиями и оборудованием, включающим компактные установки молекулярно-пучковой эпитаксии, имеющие низкие эксплуатационные расходы и снабжённые документированными процессами роста базовых слоёв и структур.
Разработка опытно-промышленной технологии производства методом молекулярно-пучковой эпитаксии гетероструктур с квантовыми ямами для перспективных широкоформатных QWIP-матриц тепловых сенсоров с использованием оборудования опытного образца нанолаборатории.

Соисполнители

Организация
АО "Светлана-Рост"

Этапы проекта

1
09.11.2009 - 07.12.2009
Разработана концепция создания ключевых узлов установок, входящих в состав нанолаборатории.Разработана конструкция наногетероструктур для QWIP-матриц.Разработана комплектность технической документации на разрабатываемые в рамках проекта технологии и оборудование.Разработана эскизная конструкторская документация на функциональные системы установок. Изготовлен комплект функциональных систем установок, обеспечивающих проведение макетирования.
Развернуть
2
01.01.2010 - 30.06.2010
Разработан эскизный проект (ЭП) на опытный образец нанолаборатории, включая установки. Проведено макетирование ключевых функциональных узлов установок из состава нанолаборатории. Проведены испытания макетов. Разработана технология выращивания наногетероструктур для QWIP-матриц методом молекулярно-пучковой эпитаксии
Развернуть
3
01.07.2010 - 25.12.2010
Разработан комплект рабочей конструкторской документации опытного образца нанолаборатории, включая установки. Выполнена оптимизация конструкции и технологии выращивания наногетероструктур для QWIP-матриц методом молекулярно-пучковой эпитаксии, разработан комплект рабочей технологической документации на опытно-промышленную технологию производства наногетероструктур для QWIP-матриц. Изготовлены и испытаны экспериментальные образцы наногетероструктур для QWIP-матриц. Проведены исследования технологии создания стехиометрических слоёв Al2O3 с помощью ионного кислородного ассистирования способом электронно-лучевого распыления. Изготовлены отдельные узлы опытного образца нанолаборатории, включая установки.
Развернуть
4
01.01.2011 - 30.06.2011
Изготовлен опытный образец нанолаборатории, включая установки. Проведены технологические работы в рамках подготовки выпуска опытной партии наногетероструктур для QWIP - матриц. Разработана программа и методика предварительных испытаний опытной партии наногетероструктур для QWIP - матриц. Разработан базовый технологический процесс по созданию слоев AI203 с помощью иного кислородного ассистирования способом электронно - лучевого распыления.
Развернуть
5
01.07.2011 - 19.10.2011
Разработанны программы и методики государственных приемочных испытаний опытного образца нанолаборатории, включая установки, опытного образца опытной партии наногетероструктур для QWIP-матриц. Проведены государственные приёмочные испытания. Откорректирован комплект КД на опытный образец нанолаборатории с присвоением литеры "О1". Откорректирован комплект ТД на опытно-промышленную технологию производства наногетероструктур для QWIP-матриц с присвоением литеры "О1".
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

2.3 Осуществление комплексных проектов, в том числе разработка конкурентоспособных технологий, предназначенных для последующей коммерциализации в области индустрии наносистем
Тема
Разработка комплексно оснащённых, компактных нанотехнологических лабораторий, предназначенных для создания широкого класса полупроводниковых приборов, в том числе для разработки опытно-промышленной технологии производства наногетероструктур для широкоформатных QWIP-матриц тепловых сенсоров.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 24 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка многофункциональной установки молекулярно-пучковой эпитаксии, обеспечивающей получение наногетероструктур на основе соединений А3В5 и Si-Ge, и базовой технологии их получения
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
30 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка базовых серийных технологий изделий микроэлектроники: микроэлектронных устройств различных типов, включая сенсоры с применением наноструктур (кремниевые интегральные рH-наносенсоры).
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
0 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка и постановка базовой технологии опытного производства электронных сенсоров на основе нано- и микросистем для комплексной автоматизации и управления в теплоэнергетике.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 28 мес.
Бюджетные средства
90 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка конкурентоспособных технологий и создание опытно-промышленного производства подложек лейкосапфира, карбида кремния и нитрида галлия для широкого класса приборов оптоэлектроники и электроники.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 26 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
2