Разработка автоматизированной платформы на основе связанных кластеров технологических и аналитических модулей молекулярно-лучевой эпитаксии и имплантации ионными пучками

1. Цель и задачи этапа работ:
Разработка эскизных проектов по частям ОКР 2,3,6, а именно для модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ, для автоматизированной платформы, а также проведение исследований по НИР 5.
2. Работы, выполненные на отчетном этапе:
2.1. Разработана эскизная конструкторская документация, предназначенная для изготовления макетных образцов модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ, и автоматизированной платформы
2.2. Изготовлены макетные образцы модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ
2.3. Разработаны программы и методики испытаний макетных образцов модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ
2.4. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96
2.5. В рамках выполнения НИР
-Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме по НИР
-Сформулированы возможные направления решения задач, поставленных в ТЗ на НИР, проведена их сравнительная оценка.
-Выбрано и обосновано направление исследований и способов решения поставленных задач .
2.6. Закуплена часть необходимых комплектующих и материалов

3. Результаты.
В результате выполнения работ 1-го этапа разработаны и представлены:
3.1. КД для макетного образца модулей МЛЭ и ФИП
3.2. КД для макетного образца модуля СЗМ и СЭМ
3.3. КД для макетного образца автоматизированной платформы
3.4. ПМ испытаний макетного образца модулей МЛЭ и ФИП
3.5. ПМ испытаний макетного образца модуля СЗМ и СЭМ
3.6. Изготовлены макетные образцы модулей МЛЭ и ФИП
3.7. Изготовлен макетный образец модуля СЗМ и СЭМ
3.8. Отчеты о патентных исследованиях
3.9. Научно-технический отчет по НИР (промежуточный), содержащий:
-Результаты анализа научно-технической литературы;
-Сравнительную оценку возможных направлений решения задач, поставленных в ТЗ НИР;
-Обоснование выбора направления исследований и способов решения поставленных задач.

1. Изготовлен макетный образец автоматизированной платформы (в части 6 ТЗ)
2. Разработана программа и методики испытаний макетного образца автоматизированной платформы (в части 6 ТЗ)
3. Проведены испытания макетных образцов модулей МЛЭ и ФИП (в части 2 ТЗ), модуля СЗМ и СЭМ (в части 3 ТЗ), автоматизированной платформы (в части 6 ТЗ)
4. Доработаны макетные образцы модулей МЛЭ и ФИП (в части 2 ТЗ), модуля СЗМ и СЭМ (в части 3 ТЗ), автоматизированной платформы (в части 6 ТЗ)
5. Скорректировано КД с присвоением литеры «Э» по результатам испытаний (в части 2,3 и 6 ТЗ)
6. Проведены эксперименты по аттестации технических характеристик модуля ФИП и модуля СЗМ и СЭМ (в части 5 ТЗ)
7. Закуплена часть необходимых комплектующих и материалов (в части 2,3 и 6 ТЗ)

1. Разработана рабочая конструкторская документация, предназначенная для изготовления опытных образцов модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ, и автоматизированной платформы
2. Изготовлены опытные образцы приборов: модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ
3. Разработаны программы и методики испытаний опытных образцов приборов: модулей МЛЭ и ФИП, модуля на базе СЗМ и СЭМ
4. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96: Разработана методика испытаний тестовых образцов. Изготовлены и испытаны тестовые образцы встречно-штыревых структур с использованием методов ФИП и СЗМ.
5. Проведен анализ научно-технической литературы и нормативно-технической документации по теме. Разработана общая методика проведения исследований. Разработаны модели физико-химических процессов формирования наноразмерных структур методом фотонностимулированных зондовых технологий. Разработана методика проведения экспериментальных исследований с учетом результатов моделирования процессов фотонностимулированных зондовых технологий
6. Закуплена часть необходимых комплектующих и материалов.

Изготовлен опытный образец автоматизированной платформы
Проведены предварительные испытания опытных образцов приборов:
• модулей МЛЭ и ФИП;
• модуля СЗМ и СЭМ;
• автоматизированной платформы
Проведена метрологическая экспертиза КД
Проведены экспериментальные исследования процессов фотонностимулированных зондовых технологий
Сопоставлены результаты эксперимента с результатами математического моделирования, скорректированы математические модели и оптимизированы режимы фотонностимулированных зондовых технологий
Разработаны методы численного моделирования физико-химических процессов формирования наноразмерных структур методами фокусированных ионных и электронных пучков
Разработаны методики проведения экспериментальных исследований с учетом результатов моделирования процессов формирования наноразмерных структур методами фокусированных ионных и электронных пучков
Проведены экспериментальные исследования физико-химических процессов и технологических режимов формирования наноразмерных структур
Разработаны элементы акустоэлектронного прибора и методы их формирования
Изготовлен комплект шаблонов для акустоэлектронного прибора

Доработаны опытные образцы приборов для приёмочных испытаний, разработаны программы и методики приёмочных испытаний, опытных образцов приборов: модулей МЛЭ и ФИП; модулей СЗМ и СЭМ. Закуплена часть необходимых комплектующих и материалов. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы элементов наноэлектроники, микро- и наномеханики: лабораторные образцы многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра; лабораторные образцы планарного элемента наноэлектроники.Разработаны базовые технологические процедуры изготовления перспективной элементной базы наноэлектроники, микро- и наномеханики с использованием фокусированных ионных и электронных пучков, а так же фотонностимулированных зондовых технологий.Изготовлены экспериментальные образцы акустоэлектронных структур с нанозамерами.Проведены измерения функциональных характеристик структур. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.

Доработан опытный образец прибора - автоматизированная платформаЗакуплена часть необходимых комплектующих и материалов Разработана программа и методики приёмочных испытаний опытного образца прибора - автоматизированной платформы Проведены приёмочные испытания опытных образцов приборов:? модулей МЛЭ и ФИП;? модуля СЗМ и СЭМ;? автоматизированной платформы.Откорректировано КД с присвоением литеры «О1» по результатам приёмочных испытаний Разработаны проекты ТУ Разработана эксплутационная документация на опытные образцы приборов. Проведены обобщение и оценка технико-экономической эффективности полученных результатов.Проведена оценка возможности создания конкурентоспособной продукции и услуг и разработаны рекомендации по использованию результатов.Изготовлены экспериментальные образцы акустоэлектронных структур с нанозамерными элементами.Проведены измерения функциональных характеристик структур.Разработаны ТЗ на ОКР.