Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка диагностико-технологического кластера для изготовления и характеризации МЭМС и НЭМС

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.523.12.3026
Организация
ЗАО "НТ-МДТ"
Руководитель работ
Быков Виктор Александрович
Продолжительность работ
2009 - 2011, 23 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Внебюджетные средства
65 млн

Разработка диагностико-технологического кластера для изготовления, характеризации и модифи-кации микро- и наноэлектромеханических систем (МЭМС и НЭМС) на основе комплекса синхро-тронного излучения, сверхвысоковакуумной рентгеновской рефлектометрии, систем формирова-ния наноструктур, электронной и атомносиловой микроскопии, спектроскопии вторичных ионов.

Соисполнители

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Колесник Олег Леонидович

Этапы проекта

1
02.10.2009 - 15.11.2009
1. Разработана комплектность технической документации (ТД), разрабатываемой на этапах работ2. Разработана эскизная конструкторская документация (КД), предназначенная для изготовления макета НТК ДТК с присвоением документам литеры «Э»3. Изготовлена часть макета НТК ДТК:- сверхвысоковакуумный робот-раздатчик;- высоковакуумный модуль загрузки исходных пластин;- мобильный транспортный модуль.
Развернуть
2
16.11.2009 - 31.12.2009
Изготовлена часть макета НТК ДТК. Проведен анализ существующих возможностей рентгеновских методов для анализа материалов экспериментальных образцов МЭМС и НЭМСПроведена подготовка оборудования для проведения подготовительных работ по изготовлению экспериментальных образцов МЭМС/НЭМС устройств.Проведен теоретический анализ предельных возможностей рентгеновских методов для анализа материалов экспериментальных образцов МЭМС и НЭМС.
Развернуть
3
01.01.2010 - 30.06.2010
Разработана эскизная конструкторская документация, предназначенная для изготовления макета РВС СИ с присвоением документам литеры «Э».
Изготовлен макет РВС СИ.
Разработана лабораторная технология изготовления экспериментальных образцов МЭМС/НЭМС – зондов.
Проведено оснащение технологического участка для изготовления опытных образцов НТК ДТК и РВС СИ в соответствии с утвержденным планом реконструкции.
Разработана проектно-сметная документация (ПСД) на подготовку участка опытного производства.
Развернуть
4
01.07.2010 - 31.12.2010
Разработана рабочая КД, предназначенная для изготовления опытного образца НТК ДТК.
Изготовлен опытный образец НТК ДТК.
Разработана программа и методики предварительных испытаний опытного образца НТК ДТК. Разработан технический проект РВС СИ с присвоением документам литеры «Т».
Разработана программа и методики испытаний макета РВС СИ.
Проведены испытания макета РВС СИ.
Проведены расчеты предельных возможностей рентгеновских методов для анализа материалов экспериментальных образцов МЭМС и НЭМС. Изготовлены экспериментальные образцы МЭМС/НЭМС - зонда с апертурой 100 нм и проведены предварительные исследования функциональных возможностей.
Развернуть
5
01.01.2011 - 31.05.2011
Изготовлен опытный образец РВС СИ. Доработана лабораторная технология изготовления экспериментальных образцов МЭМС/НЭМС – зондов.
Развернуть
6
01.06.2011 - 20.09.2011
Проведены приемочные испытания опытных образцов НТК ДТК и РВС СИ. Откорректирована рабочая конструкторская документация по результатам приемочных испытаний опытных образцов НТК ДТК и РВС СИ с присвоением документам литеры «О ». Проведена оценка рыночной стоимости ОИС. Осуществлено производство партии экспериментальных образцов МЭМС/НЭМС - зондов и исследование воспроизводимости их характеристик.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

2.3 Осуществление комплексных проектов, в том числе разработка конкурентоспособных технологий, предназначенных для последующей коммерциализации в области индустрии наносистем
Тема
Разработка диагностико-технологического кластера для изготовления и характеризации МЭМС и НЭМС.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 24 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
1
Тема
Обеспечение удаленного доступа студентов, исследователей, разработчиков к комплексу зондовых, атомносиловых и электронных микроскопов для диагностики и комплексных испытаний наночастиц, наноструктурированных и наномодифицированных материалов
Продолжительность работ
2008 - 2009, 11 мес.
Бюджетные средства
27 млн
Количество заявок
0
Тема
Обеспечение удаленного доступа студентов, исследователей, разработчиков к комплексу зондовых, атомносиловых и электронных микроскопов для диагностики и комплексных испытаний наночастиц, наноструктурированных и наномодифицированных материалов
Продолжительность работ
2009 - 2010, 21 мес.
Бюджетные средства
27 млн
Количество заявок
5
Тема
Обеспечение удаленного доступа студентов, исследователей, разработчиков к уникальным научным установкам и оборудованию - сверхвысоковакуумной (СВВ) системе формирования и следования морфологии, состава и электронной структуры наноматериалов методами сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС)
Продолжительность работ
2008 - 2009, 11 мес.
Бюджетные средства
27 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание функционирующего в режиме удалённого доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по бесконтактной неразрушающей комплексной диагностике слоистых тонкопленочных наноструктур и изучению поверхностных свойств наноматериалов с использованием уникального многофункционального рентгеновского оборудования.
Продолжительность работ
2010 - 2011, 12 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2