Разработка технологии изготовления высокочувствительных гибридных полупроводниковых наноструктур для детектирования жидкостей и газов при температуре окружающей среды

Проведен анализ научно-технической литературы по МЭДП сенсорам.
Выбраны технологические схемы и процессы для получения образцов гибридных наноструктур.
Разработаны технические требования на стенд для тестирования МЭДП сенсоров.
Оснащен оборудованием стенд для тестирования МЭДП сенсоров.

Выбран тип и проведено экспериментальное определение состава твердого электролита для нанесения на МЭДП структуры. Исследованы свойства полимерных твердых электролитов. Разработаны и проверены физико-химические модели взаимодействия газа с МЭДП структурами. Проведен монтаж и наладка стенда для тестирования МЭДП сенсоров. Разработана комплектность на технологию изготовления гибридных наноструктур.Проведены патентные исследования .

Отработка методик нанесения слоев твердых электролитов на кремниевые подложки, нанесения нано-структурированного газового электрода. Исследование физико-химических процессов на границах раздела газ/твердый электролит/металл и твердый электролит/SiO2. Изготовление экспериментальных образцов гибридных наноструктур. Разработка конструкции сенсоров и электронного модуля – контроллера.

Разработана лабораторная технология изготовления газовых сенсоров.
Разработаны методики испытания экспериментальных образцов сенсоров и электронного модуля – контроллера.
Изготовлены и испытаны экспериментальные образцы сенсоров и электронного модуля – контроллера.
Разработаны РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер.

Разработаны программы и методики предварительных и приемочных испытаний опытных образцов высокочувствительных сенсоров.
Разработаны программы и методики предварительных и приемочных испытаний опытных образцов электронных модулей-контроллеров.
Изготовлены опытные образцы сенсоров и электронных модулей-контроллеров для предварительных и приемочных испытаний.
Осуществлена корректировка РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер с присвоением литеры «О» по результатам предварительных испытаний.
Осуществлена корректировка РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер с присвоением литеры «О1» по результатам приемочных испытаний.
Разработаны предварительные исходные данные для проектирования и перспективного промышленного выпуска типоряда приборов для экологического мониторинга, предупреждения об авариях, техногенных катастроф и возможных террористических атаках.