Разработка технологии изготовления высокочувствительных гибридных полупроводниковых наноструктур для детектирования жидкостей и газов при температуре окружающей среды
Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.527.12.0005
Организация
НИЦ "Курчатовский институт"
Руководитель работ
Зарецкий Николай Пантелеевич
Продолжительность работ
2008 - 2010, 23 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Внебюджетные средства
25 млн
Разработка высокочувствительных гибридных наноструктур на основе полупроводниковой технологии для детектирования жидкостей и газов при температуре окружающей среды в целях применения в энергосберегающих автономных сенсорах нового поколения.
Соисполнители
Организация
Физический факультет МГУ
Участники проекта
Зам. руководителя работ
Васильев Алексей Андреевич
Этапы проекта
1
24.11.2008 - 12.12.2008
Проведен анализ научно-технической литературы по МЭДП сенсорам.
Выбраны технологические схемы и процессы для получения образцов гибридных наноструктур.
Разработаны технические требования на стенд для тестирования МЭДП сенсоров.
Оснащен оборудованием стенд для тестирования МЭДП сенсоров.
Выбраны технологические схемы и процессы для получения образцов гибридных наноструктур.
Разработаны технические требования на стенд для тестирования МЭДП сенсоров.
Оснащен оборудованием стенд для тестирования МЭДП сенсоров.
2
01.01.2009 - 30.06.2009
Выбран тип и проведено экспериментальное определение состава твердого электролита для нанесения на МЭДП структуры. Исследованы свойства полимерных твердых электролитов. Разработаны и проверены физико-химические модели взаимодействия газа с МЭДП структурами. Проведен монтаж и наладка стенда для тестирования МЭДП сенсоров. Разработана комплектность на технологию изготовления гибридных наноструктур.Проведены патентные исследования .
3
01.07.2009 - 10.12.2009
Отработка методик нанесения слоев твердых электролитов на кремниевые подложки, нанесения нано-структурированного газового электрода. Исследование физико-химических процессов на границах раздела газ/твердый электролит/металл и твердый электролит/SiO2. Изготовление экспериментальных образцов гибридных наноструктур. Разработка конструкции сенсоров и электронного модуля – контроллера.
4
01.01.2010 - 30.06.2010
Разработана лабораторная технология изготовления газовых сенсоров.
Разработаны методики испытания экспериментальных образцов сенсоров и электронного модуля – контроллера.
Изготовлены и испытаны экспериментальные образцы сенсоров и электронного модуля – контроллера.
Разработаны РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер.
Разработаны методики испытания экспериментальных образцов сенсоров и электронного модуля – контроллера.
Изготовлены и испытаны экспериментальные образцы сенсоров и электронного модуля – контроллера.
Разработаны РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер.
5
01.07.2010 - 31.10.2010
Разработаны программы и методики предварительных и приемочных испытаний опытных образцов высокочувствительных сенсоров.
Разработаны программы и методики предварительных и приемочных испытаний опытных образцов электронных модулей-контроллеров.
Изготовлены опытные образцы сенсоров и электронных модулей-контроллеров для предварительных и приемочных испытаний.
Осуществлена корректировка РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер с присвоением литеры «О» по результатам предварительных испытаний.
Осуществлена корректировка РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер с присвоением литеры «О1» по результатам приемочных испытаний.
Разработаны предварительные исходные данные для проектирования и перспективного промышленного выпуска типоряда приборов для экологического мониторинга, предупреждения об авариях, техногенных катастроф и возможных террористических атаках.
Разработаны программы и методики предварительных и приемочных испытаний опытных образцов электронных модулей-контроллеров.
Изготовлены опытные образцы сенсоров и электронных модулей-контроллеров для предварительных и приемочных испытаний.
Осуществлена корректировка РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер с присвоением литеры «О» по результатам предварительных испытаний.
Осуществлена корректировка РКД на газовые сенсоры для детектирования F2, HF и H2 и электронный модуль – контроллер с присвоением литеры «О1» по результатам приемочных испытаний.
Разработаны предварительные исходные данные для проектирования и перспективного промышленного выпуска типоряда приборов для экологического мониторинга, предупреждения об авариях, техногенных катастроф и возможных террористических атаках.
Программа
Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"
Программное мероприятие
2.7 Проведение опытно-конструкторских и опытно-технологических работ по тематике, предлагаемой бизнес-сообществом
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Организация
Химический факультет МГУ
профинансировано
Продолжительность работ
2017 - 2019, 25 мес.
Бюджетные средства
15 млн
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2012, 17 мес.
Бюджетные средства
0,5 млн
Организация
Томский государственный университет, НИ ТГУ, ТГУ
профинансировано
Продолжительность работ
2016 - 2019, 40 мес.
Бюджетные средства
9 млн
Организация
СПбАУ РАН, Академический университет
профинансировано
Продолжительность работ
2009 - 2011, 29 мес.
Бюджетные средства
75 млн
Организация
НИЦ "Курчатовский институт"
профинансировано