Регистрация / Вход
Прислать материал

Разработка комплекта технологического оборудования и технологии получения функциональных наноуглеродных интегральных структур

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.527.12.9007
Организация
ООО "Оптосистемы"
Руководитель работ
Павлов Георгий Яковлевич
Продолжительность работ
2007 - 2008, 15 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Внебюджетные средства
70 млн

Разработка и организация производства наноприборов с использованием автоэмиссионных свойств наноуглеродных функциональных структур на основе разработки комплекта специального технологического оборудования и базовых технологических процессов.

Соисполнители

Организация
ЗАО "НТ-МДТ"

Этапы проекта

1
21.09.2007 - 31.10.2007
1. Разработана и согласована с Заказчиком и Инициатором проекта комплектность документов по ГОСТ.
2. Разработан эскизный проект, в том числе:
- проведен анализ состояний разработок в области создания автоэмиссионных наноприборов, технологического оборудования и технологии функциональных наноуглеродных интегральных структур;
- разработан эскизный вариант конструкций и технологических маршрутов наноприборов;
- проведен выбор и обоснование базовых технологических процессов формирования наноуглеродных функциональных структур;
- разработаны компоновочные варианты конструкций установок для формирования каталитических слоёв, выращивания углеродных нанотрубок, осаждения поликристаллических алмазных и алмазоподобных плёнок и высокоаспектного селективного травления наноструктур;
- разработаны требования на состав установок;
- схемы деления изделий на составные части;
- пояснительная записка.
3. Изготовлены макеты:
- макет стенда измерения характеристик автоэмиссионных наноприборов для обеспечения испытаний наноприборов на соответствие требованиям ТЗ;
- макет многосекционного ИК-нагрева подложкодержателя для отработки системы нагрева пластин до температуры 650оС, предназначенный для установок УФКС и УВУНТ;
- макет камеры реактора (ICP реактор), предназначенный для установок УВУНТ и УПХТ;
- макет источника питания магнетронов для СВЧ генератора, предназначенный для установок УОАП и УВУНТ;
- макет газовой системы для унифицированного базового модуля, предназначенный для установок УФКС, УВУНТ, УОАП и УПХТ.
4. Разработано техническое задание на проведение патентных исследований.
5. Заключены договоры с соисполнителями: №07-125/НТ от 27.09.2007 с ЗАО «Нанотехнология МДТ»; №740 от 27.09.2007 с ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина».
6. выполнены работы за счет внебюджетных средств:
- проведены строительно-монтажные работы по созданию опытно-технологического и испытательного участков в Корпусе по производству ИС на пластинах диаметром 200 мм ОАО «НИИМЭ и Микрон»;
- разработано техническое задание для разработки бизнес-плана коммерциализации проекта.
- проведен поиск патентов, приобретение лицензий на которые необходимы для реализации и коммерциализации проекта.
Развернуть
2
01.11.2007 - 31.12.2007
1. На этапе 2- Технический проект - выполнены следующие работы:
• Проведено описание и обоснование принципиальных конструкторских решений наноприборов.
• Проведены теоретические и экспериментальные исследования, подтвердившие возможность создания наноприборов с техническими характеристиками, удовлетворяющими заявленным требованиям ТЗ.
• Разработаны маршруты изготовления наноприборов на основе базовых технологических процессов и стандартных операций производства кремниевых ИС, подтверждена технологичность изготовления наноприборов.
• Разработаны и утверждены программы и методики проведения исследовательских испытаний базовых технологических процессов.
• Проведены исследовательские испытания базовых технологических процессов, подготовлены Протоколы исследовательских испытаний базовых технологий.
• Разработаны чертежи общих видов (лит. «Т») на следующие наноприборы: диод с алмазным котодом; триод с алмазным катодом; триод с углеродными нанотрубками; диод с углеродными нанотрубками; автоэмиссионный диод; автоэмиссионный триод; катодно-сеточный узел; умножитель потока электронов.
• Разработан комплект конструкторской документации (лит. «Т») на:
-общие виды технологических установок УФКС, УВУНТ, УОАП, УПХТ;
-общий вид унифицированного базового модуля;
-чертежи общих видов реакторов для установок;
-чертежи общих видов подложкодержателей для установок;
-чертежи общего вида механизма загрузки для базового модуля;
-чертежи общего вида камеры загрузочной для базового модуля;
• Разработаны структурные схемы систем управления для базового модуля и установок УФКС, УВУНТ, УОАП, УПХТ;
• Разработаны схемы деления на установки УФКС, УВУНТ, УОАП, УПХТ;
• Разработаны схемы принципиальные – П3, Г3 и В3 по ГОСТ 2.701-84 для базового модуля и установок УФКС, УВУНТ, УОАП, УПХТ;
• Составлена ведомость технического проекта;
2. Подготовлена пояснительная записка.
3. Изготовлены и испытаны макет стенда для измерения коэффициента умножения алмазной сетки катодно-сеточного узла и макет высокотемпературного резистивного нагревателя.
4. Проведены патентные исследования и подготовлен отчет.
5. Поданы две заявки на получение патентов.
6. Проведены работы за счет внебюджетных средств, в том числе:
• Составлены технические технических требований (ТЗ) на участки производства СБИС и автоэмиссионных наноприборов.
• Разработана проектно-сметная документация (ПСД) на выполнение строительно-монтажных работ (СМР) по реконструкции производственных помещений для создания и формирования инфраструктуры участков ОАО «НИИМЭ и «Микрон» и ОАО НИИТМ.
• Разработано Дополнение к материалам для разработки бизнес-плана коммерциализации результатов выполнения Государственного контракта.
Развернуть
3
01.01.2008 - 31.05.2008
Основным содержанием работы настоящего проекта на этапе 3 «Разработка рабочей технической документации» являются:
- Разработка эскизной конструкторской документации на экспериментальные образцы наноприборов.
- Разработка топологии и фотошаблонов для изготовления наноприборов.
- Изготовление и испытания экспериментальных образцов наноприборов, в том числе:
- автоэмиссионные интегральные диоды и триоды;
- катодно-сеточный узел;
- умножитель потоков электронов на основе алмазной сетки.
- Разработка ПМ исследовательских испытаний технологий осаждения поликристаллических алмазных и наноалмазных пленок (ОПАНП) и плазмохимического травления (ПХТ).
- Проведение исследовательских испытаний технологий ОПАНП и ПХТ.
- Разработка РКД на установки.
- Изготовление и проведение испытаний макетов узлов установок и стендов.
Развернуть
4
01.06.2008 - 31.12.2008
Краткое описание выполненных работ на этапе 4:
1. Изготовлены узлы и детали для сборки установок УФКС, УВУНТ, УПХТ.
2. Разработаны Программы и методики предварительных испытаний установок, в том числе: УВУНТ, УФКС, УПХТ.
3. Разработаны программы и методики предварительных испытаний установок УВУНТ, УФКС, УПХТ.
4. Разработаны проекты технических условий на установки УВУНТ, УФКС, УПХТ.
5. Разработаны проекты эксплуатационной документации на установки УВУНТ, УФКС, УПХТ.
6. Изготовлены опытные образцы реакторов.
7. Подготовлен дополнительный отчет о патентных исследованиях по ГОСТ 15.011.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

2.7 Проведение опытно-конструкторских и опытно-технологических работ по тематике, предлагаемой бизнес-сообществом
Продолжительность работ
2009 - 2011, 27 мес.
Бюджетные средства
14,14 млн
Организация
ФГБНУ ТИСНУМ
профинансировано
Тема
Разработка комплекта технологического оборудования и технологии получения функциональных наноуглеродных интегральных структур.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
105 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка базовых технологических процессов и оборудования для исследований и опытного производства приборов наноэлектроники, оптоэлектроники и микросистемной техники.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
230 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание комплектов аттестованных стандартных образцов (СО), методик их аттестации и методик выполнения измерений (МВИ) для метрологического обеспечения контроля состава, структуры и свойств наноструктурированных композиционных материалов.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 24 мес.
Бюджетные средства
60 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание комплекта аттестованных методик, стандартных образцов и мер для метрологического обеспечения измерений состава, структуры и свойств высокопрочных наноструктурированных конструкционных сталей и сплавов.
Продолжительность работ
2011, 6 мес.
Бюджетные средства
22 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка методов синтеза наноуглеродных структур на основе фуллеренов, том числе металлофуллеренов, металлоорганических и органических комплексов.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
36 млн
Количество заявок
6