Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области технологии наноструктурирования и диагностического сопровождения разработок новых материалов и систем для наноиндустрии

Разработан новый метод наноструктурирования поверхности кремния, ко-торый обеспечивает закрепление молекул ДНК на структурированной по-верхности и их последующий ex situ анализ методами атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии.
Разработан обобщенный метод геометрической фазы для визуализации и количественных измерений полей деформации в многослойных низкораз-мерных гетеросистемах, базирующийся на цифровой обработке электрон-номикроскопических изображений и позволяющий получать адекватную количественную информацию об особенностях атомного строения низко-размерных систем.
Исследован новый кинетический механизм формирования фазового контраста на поверхности, инициирующийся при увеличении скорости передвижения зонда АСМ по поверхности подложки вследствие увеличения силы трения.
Усовершенствованы диагностические методики для структурно-химического анализа материалов для устройств нанофотоники и наносен-сорики на основе низкоразмерных систем высокополяризуемых органиче-ских красителей.
Созданы новые методы синтеза красителей полиметинового ряда и функ-ционализованных органических люминофоров и методы контроля их оп-тических констант в широком спектральном интервале от УФ до ближней ИК области: от 200 нм до 1700 нм.

Разработаны высокоточные тест-объекты и маски для технологии Nano-Imprint Lithography, совместимые с кремниевой технологией, позволяющие производить калибровку измерений линейных размеров в сканирующих электронных и атомно-силовых микроскопах в диапазоне 0,1-100 нм с погрешностью не более 0,05 нм.
Впервые создана и исследована уникальная система на основе перфорированных пленок нитрида титана на окисленной поверхности кремния. Разработаны экспериментальные установки импульсной и непрерывной лазерной записи для создания и исследования голографических фотополимерных материалов (ГФПМ).
Создан аналитическо-технологический комплекс для изучения и наноструктурирования поверхности в условиях сверхвысокого вакуума. Впервые найдены условия выращивания предельно плотных массивов наноструктур германия раз-мером до 10 нм и установлены поверхностные процессы ответственные за их формирование.

Разработана технология изготовления прецизионных тест объектов для калибровки измерений линейных размеров в сканирующих электронных и атомно-силовых микроскопах в диапазоне 0,1-100 нм с погрешностью не более 0,05 нм. Выполнены работы по моделированию электронно-микроскопических изображений для идентификации прорастающих дислокаций в гетеросистеме GeSi-Si(001).Получен ряд экспериментальных образцов тонких пленок двух полиметиновых красителей И1 и ДТ1. Разработан метод контроля толщины и оптических характеристик тонких пленок полиметиновых высокополяризуемых красителей от УФ до ближней ИК-области с применением спектрального эллипсометра с кремниевым фотоприемником.