Регистрация / Вход
Прислать материал

Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области разработки технологических основ создания функциональных элементов микро- и наноэлектроники и методик комплексного анализа широкого класса наноструктур, геологических и биологических объектов и конструкционных материалов в центре коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур»»

Использование научных приборов и оборудования, а также методов научных исследований, разработанных или освоенных центром коллективного пользования научным оборудованием при проведении поисковых научно-исследовательских работ по теме __________________________________ (здесь приводится тематика исследований, предлагаемая участником размещения заказа к выполнению в рамках данного лота) для последующего дооснащения имеющегося специализированного научного оборудования, развития новых и совершенствования существующих методов выполнения измерений для обеспечения и развития исследований в форме коллективного пользования.

Соисполнители

Организация
ФТИАН РАН

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Рудый Александр Степанович

Этапы проекта

1
02.10.2009 - 15.11.2009
Выполнена разработка основ технологии изготовления МДП структур, обладающих эффектом переключения проводимости.Изготовлен макет МДП структуры на основе SiO2 с включенными нанокластерами кремния. Исследованы морфология, химический и фазовый состав слоя SiO2 с включенными нанокластерами кремния методами ВИМС, электронной и зондовой микроскопии и ИК-спектроскопии. Исследованы механизм и динамика переключения проводимости МДП структур, на основе широкозонных аморфных полупроводников с включенными наноразмерными кластерами кремния.Проведен конкурс и заключен государственный контракт на поставку базового блока рентгеновского дифрактометра ARL X`TRA.
Развернуть
2
16.11.2009 - 31.12.2009
Разработаны основы технологии изготовления кремниевого солнечного элемента (СЭ) с объемным гомопереходом и развитой поверхностью.Изготовлен макет СЭ.Исследована морфология области p-n и поверхности крмнеия методами ВИМС, электронной и зондовой микроскопии и ИК-спектроскопии.Разработаны методики исследования параметров СЭ на измерительном комплексе Oriel I-V.Исследованы световые и темновые вольтамперные характеристики и определена эффективность СЭ с объемным гомопереходом.
Развернуть
3
01.01.2010 - 30.06.2010
Разработана физическая модель квантового переноса в кремниевом полевом нанотранзисторе. Разработаны технологические основы электронно-лучевой литографии, обеспечивающей формирование затворной структуры нанотранзистора с разрешением 30 нм. Разработаны технологические основы прецизионного анизотропного травления металлического затворного стека, обеспечивающего формирование затворной структуры нанотранзистора с топологическими нормами менее 45 мн. Разработаны технологические основы селективного травления high-k диэлектриков, обеспечивающие минимальную эрозию нижележащего слоя кремния (менее 1 нм). Разработаны методы плазмохимического осаждения суб-100 нм пленок нитрида кремния для последующего формирования спейсеров в нанотранзисторной структуре.
Развернуть
4
01.07.2010 - 16.10.2010
Разработана методика локального определения металлов платиновой группы в сульфидных включениях микронного размера в горных породах и минералах методами ВИМС и электронной микроскопии. Разработана методика локального определения микроструктуры, фазового состава и поэлементного распределения химического состава по глубине термоблокирующего покрытия лопаток газотурбинных двигателей методами ВИМС, электронной и зондовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Разработана методика количественного анализа и построения изображений распределения химических элементов в плазме крови методами времяпролетной масс-спектрометрии и электронной микроскопии. Разработана методика комплексного анализа наноструктур, геологических и биологических объектов и конструкционных материалов методами вторичной ионной масс-спектрометрии, электронной и зондовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

5.2 Развитие сети центров коллективного пользования научным оборудованием
Тема
Проведение в центрах коллективного пользования научным оборудованием поисковых научно-исследовательских работ по основным направлениям реализации федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы».
Продолжительность работ
2009 - 2010, 14 мес.
Бюджетные средства
550 млн
Количество заявок
105
Тема
Проведение в центрах коллективного пользования научным оборудованием поисковых научно-исследовательских работ по основным направлениям реализации федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы».
Продолжительность работ
2009 - 2010, 12 мес.
Бюджетные средства
400 млн
Количество заявок
87
Тема
Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований в области наноструктур и наносистем.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
17,2 млн
Количество заявок
4
Тема
Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов и технологий их получения.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
5
Тема
Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований в области физики и технологий наноструктур.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
17,6 млн
Количество заявок
5