Регистрация / Вход
Прислать материал

Исследование методов переноса изображения и разработка системы проектирования фотошаблонов для микроэлектронных технологий субмикронного и нанометрового диапазона

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.740.11.0165
Организация
МИЭТ
Продолжительность работ
2009 - 2011, 26 мес.
Бюджетные средства
15 млн
Внебюджетные средства
3 млн

Информация отсутствует

Соисполнители

Организация
АО "ЗИТЦ"

Этапы проекта

1
25.06.2009 - 30.09.2009
1.1 .Анализ научно-технической
литературы, посвященной методам
проектирования фотошаблонов и
каталогизации проектных решений.
1.2. Проведение патентных
исследований по ГОСТ 15.011-96.
1.3. Разработка требований и
спецификаций к архитектуре
прикладного программного
обеспечения.
1.4. Исследование методологии
коррекции оптических эффектов
близости, применяемых в процессе
проектирования фотошаблонов.
1.5. Изучение современных
индустриальных средств
проектирования фотошаблонов.
Развернуть
2
01.10.2009 - 15.12.2009
2.1. Разработка и исследование
прототипа маршрута проектирования
фотошаблонов для уровня технологий
0,1 8 -0,13 мкм.
2.2. разработка топологии тестовых
структур для исследования влияния
оптических эффектов близости.
2.3. Разработка маршрута аттестации
и контроля линейных размеров
топологических элементов.
Развернуть
3
01.01.2010 - 30.06.2010
3.1. Разработка и исследование
системы проектирования
фотошаблонов для уровня технологии
90 нм.
3.2. Разработка алгоритмов и методов
коррекции оптических эффектов
близости для библиотечных
элементов с субмикронными
топологическими нормами.
3.3. Разработка рабочей программы
по курсу «Методы и алгоритмы
проектирования фотошаблонов».
3.4. Разработка учебно-методического
комплекса по курсу «Проектирование
фотошаблонов и подготовка
управляющей информации для их
изготовления».
Развернуть
4
01.07.2010 - 15.12.2010
4.1. Разработка и исследование
системы проектирования
фотошаблонов для уровня технологии
65 - 32 нм \^ *) —/ ^ П1г1 .
4.2. Разработка топологии тестовой
цифровой интегральной схемы по
технологическим нормам 90 нм для
верификации методики коррекции
оптических эффектов близости.
4.3. Разработка научно-методического
материала по курсу «Методы и
алгоритмы проектирования
фотошаблонов» .
4.4. Разработка научно-методических
материалов для лабораторного
практикума по курсу
«Проектирование фотошаблонов и
подготовка управляющей
информации для их изготовления».
Развернуть
5
01.01.2011 - 30.06.2011
5.1. Разработка требований и
спецификаций к структуре базы
данных хранения проектных
решений.
5.2. Разработка маршрута
каталогизации проектных решений.
5.3. Разработка маршрута
проектирования фотошаблонов с
коррекцией оптических эффектов
близости для технологий с размерами
критических элементов
нанометрового диапазона.
5.4. Разработка научно-методических
материалов для лабораторного
практикума по курсу «Методы и
алгоритмы проектирования
фотошаблонов».
5.5. Разработка и исследование
прототипа подсистемы хранения
проектных решений.
Развернуть
6
01.07.2011 - 15.08.2011
6.1. Проведение тестирования
разработанного маршрута
проектирования фотошаблонов для
технологии 90 нм.
6.2. Разработка учебно-методического
комплекса по курсу «Методы и
алгоритмы проектирования
фотошаблонов». конкурентоспособной продукции и
разработка рекомендаций по
использованию результатов
проведенных НИР.
Развернуть

Программа

Программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009 - 2013 годы

Программное мероприятие

1.1 Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров
Продолжительность работ
2010 - 2012, 27 мес.
Бюджетные средства
0,5 млн
Организация
АО "НИИФИ"
профинансировано
Тема
Разработка методов и средств метрологического обеспечения единства измерений в нанотехнологиях на основе тест-объектов нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
9
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне
Продолжительность работ
2008 - 2010, 27 мес.
Бюджетные средства
55 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологичесого комплекса нормативно-методической базы для измерений параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 26 мес.
Бюджетные средства
76 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса для измерений характеристик текстуры большепольной поверхности на основе мультисенсорной зондовой микроскопии и динамической меры перемещения нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
13 млн
Количество заявок
1
Тема
Матрицы наноструктур для получения мультицветного изображения в субтерагерцовом диапазоне частот
Продолжительность работ
2008 - 2009, 15 мес.
Бюджетные средства
12 млн
Количество заявок
1